================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_B_10 Ion = Boron [5] , Mass = 10.0129 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Boron [5] , Mass = 10.0129 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 100.00 keV 1.286E+00 1.174E-01 3123 A 870 A 826 A 110.00 keV 1.326E+00 1.107E-01 3393 A 906 A 871 A 120.00 keV 1.366E+00 1.048E-01 3660 A 939 A 914 A 130.00 keV 1.407E+00 9.965E-02 3921 A 971 A 954 A 140.00 keV 1.449E+00 9.502E-02 4178 A 1000 A 993 A 150.00 keV 1.491E+00 9.086E-02 4430 A 1027 A 1030 A 160.00 keV 1.534E+00 8.710E-02 4677 A 1052 A 1065 A 170.00 keV 1.578E+00 8.367E-02 4919 A 1076 A 1099 A 180.00 keV 1.622E+00 8.054E-02 5156 A 1098 A 1131 A 200.00 keV 1.712E+00 7.501E-02 5616 A 1139 A 1191 A 225.00 keV 1.826E+00 6.920E-02 6164 A 1184 A 1259 A 250.00 keV 1.940E+00 6.432E-02 6685 A 1223 A 1320 A 275.00 keV 2.053E+00 6.016E-02 7181 A 1257 A 1375 A 300.00 keV 2.164E+00 5.656E-02 7654 A 1287 A 1425 A 325.00 keV 2.272E+00 5.341E-02 8107 A 1314 A 1471 A 350.00 keV 2.377E+00 5.063E-02 8541 A 1337 A 1513 A 375.00 keV 2.478E+00 4.816E-02 8960 A 1359 A 1551 A 400.00 keV 2.575E+00 4.594E-02 9363 A 1378 A 1586 A 450.00 keV 2.758E+00 4.213E-02 1.01 um 1414 A 1650 A 500.00 keV 2.924E+00 3.895E-02 1.09 um 1444 A 1706 A 550.00 keV 3.074E+00 3.627E-02 1.15 um 1470 A 1755 A 600.00 keV 3.209E+00 3.396E-02 1.22 um 1493 A 1799 A 650.00 keV 3.330E+00 3.196E-02 1.28 um 1514 A 1840 A 700.00 keV 3.438E+00 3.020E-02 1.35 um 1532 A 1876 A 800.00 keV 3.620E+00 2.725E-02 1.47 um 1569 A 1942 A 900.00 keV 3.763E+00 2.488E-02 1.58 um 1601 A 2000 A 1.00 MeV 3.875E+00 2.291E-02 1.69 um 1629 A 2051 A 1.10 MeV 3.962E+00 2.126E-02 1.80 um 1655 A 2098 A 1.20 MeV 4.029E+00 1.985E-02 1.90 um 1678 A 2141 A 1.30 MeV 4.080E+00 1.863E-02 2.01 um 1700 A 2181 A 1.40 MeV 4.118E+00 1.756E-02 2.11 um 1721 A 2219 A 1.50 MeV 4.146E+00 1.662E-02 2.22 um 1740 A 2255 A 1.60 MeV 4.166E+00 1.578E-02 2.32 um 1759 A 2289 A 1.70 MeV 4.179E+00 1.503E-02 2.42 um 1777 A 2322 A 1.80 MeV 4.187E+00 1.435E-02 2.52 um 1795 A 2353 A 2.00 MeV 4.190E+00 1.318E-02 2.73 um 1839 A 2414 A 2.25 MeV 4.180E+00 1.198E-02 2.98 um 1899 A 2484 A 2.50 MeV 4.159E+00 1.099E-02 3.24 um 1957 A 2551 A 2.75 MeV 4.133E+00 1.016E-02 3.50 um 2013 A 2616 A 3.00 MeV 4.103E+00 9.458E-03 3.76 um 2067 A 2678 A 3.25 MeV 4.071E+00 8.853E-03 4.02 um 2120 A 2738 A 3.50 MeV 4.040E+00 8.326E-03 4.28 um 2172 A 2797 A 3.75 MeV 4.008E+00 7.862E-03 4.55 um 2224 A 2855 A 4.00 MeV 3.976E+00 7.451E-03 4.82 um 2274 A 2912 A 4.50 MeV 3.914E+00 6.753E-03 5.36 um 2435 A 3023 A 5.00 MeV 3.855E+00 6.183E-03 5.91 um 2590 A 3132 A 5.50 MeV 3.799E+00 5.707E-03 6.47 um 2740 A 3240 A 6.00 MeV 3.745E+00 5.303E-03 7.04 um 2885 A 3346 A 6.50 MeV 3.694E+00 4.956E-03 7.62 um 3028 A 3452 A 7.00 MeV 3.644E+00 4.655E-03 8.21 um 3167 A 3556 A 8.00 MeV 3.550E+00 4.156E-03 9.40 um 3640 A 3765 A 9.00 MeV 3.461E+00 3.759E-03 10.63 um 4078 A 3973 A 10.00 MeV 3.376E+00 3.435E-03 11.88 um 4494 A 4181 A 11.00 MeV 3.296E+00 3.166E-03 13.17 um 4892 A 4390 A 12.00 MeV 3.218E+00 2.938E-03 14.49 um 5278 A 4600 A 13.00 MeV 3.143E+00 2.742E-03 15.85 um 5655 A 4811 A 14.00 MeV 3.071E+00 2.573E-03 17.23 um 6025 A 5025 A 15.00 MeV 3.002E+00 2.424E-03 18.65 um 6389 A 5240 A 16.00 MeV 2.935E+00 2.292E-03 20.10 um 6750 A 5458 A 17.00 MeV 2.870E+00 2.175E-03 21.58 um 7107 A 5678 A 18.00 MeV 2.808E+00 2.070E-03 23.09 um 7464 A 5901 A 20.00 MeV 2.689E+00 1.889E-03 26.23 um 8752 A 6355 A 22.50 MeV 2.544E+00 1.705E-03 30.34 um 1.06 um 6941 A 25.00 MeV 2.393E+00 1.555E-03 34.70 um 1.23 um 7552 A 27.50 MeV 2.268E+00 1.431E-03 39.32 um 1.40 um 8191 A 30.00 MeV 2.154E+00 1.326E-03 44.19 um 1.57 um 8857 A 32.50 MeV 2.050E+00 1.236E-03 49.31 um 1.74 um 9552 A 35.00 MeV 1.954E+00 1.158E-03 54.68 um 1.91 um 1.03 um 37.50 MeV 1.866E+00 1.090E-03 60.32 um 2.08 um 1.10 um 40.00 MeV 1.786E+00 1.030E-03 66.21 um 2.25 um 1.18 um 45.00 MeV 1.642E+00 9.284E-04 78.79 um 2.88 um 1.35 um 50.00 MeV 1.519E+00 8.459E-04 92.42 um 3.49 um 1.53 um 55.00 MeV 1.413E+00 7.776E-04 107.11 um 4.08 um 1.72 um 60.00 MeV 1.321E+00 7.199E-04 122.86 um 4.66 um 1.93 um 65.00 MeV 1.240E+00 6.706E-04 139.68 um 5.26 um 2.14 um 70.00 MeV 1.169E+00 6.279E-04 157.57 um 5.85 um 2.38 um 80.00 MeV 1.049E+00 5.576E-04 196.45 um 8.07 um 2.88 um 90.00 MeV 9.533E-01 5.021E-04 239.51 um 10.15 um 3.43 um 100.00 MeV 8.746E-01 4.571E-04 286.67 um 12.19 um 4.04 um 110.00 MeV 8.091E-01 4.198E-04 337.86 um 14.23 um 4.70 um 120.00 MeV 7.538E-01 3.884E-04 393.00 um 16.28 um 5.40 um 130.00 MeV 7.063E-01 3.615E-04 452.02 um 18.35 um 6.16 um 140.00 MeV 6.652E-01 3.383E-04 514.84 um 20.45 um 6.96 um 150.00 MeV 6.292E-01 3.180E-04 581.40 um 22.57 um 7.81 um 160.00 MeV 5.973E-01 3.001E-04 651.64 um 24.73 um 8.70 um 170.00 MeV 5.689E-01 2.842E-04 725.51 um 26.92 um 9.64 um 180.00 MeV 5.434E-01 2.700E-04 802.96 um 29.14 um 10.62 um 200.00 MeV 4.994E-01 2.456E-04 968.31 um 37.51 um 12.70 um 225.00 MeV 4.544E-01 2.208E-04 1.19 mm 49.47 um 15.55 um 250.00 MeV 4.177E-01 2.008E-04 1.44 mm 60.76 um 18.64 um 275.00 MeV 3.872E-01 1.843E-04 1.71 mm 71.80 um 21.98 um 300.00 MeV 3.617E-01 1.703E-04 2.00 mm 82.75 um 25.56 um 325.00 MeV 3.394E-01 1.584E-04 2.30 mm 93.71 um 29.36 um 350.00 MeV 3.199E-01 1.482E-04 2.63 mm 104.74 um 33.39 um 375.00 MeV 3.029E-01 1.392E-04 2.98 mm 115.87 um 37.64 um 400.00 MeV 2.877E-01 1.313E-04 3.34 mm 127.13 um 42.10 um 450.00 MeV 2.622E-01 1.180E-04 4.13 mm 169.25 um 51.67 um 500.00 MeV 2.413E-01 1.072E-04 4.98 mm 208.70 um 62.06 um 550.00 MeV 2.239E-01 9.831E-05 5.91 mm 247.03 um 73.24 um 600.00 MeV 2.093E-01 9.083E-05 6.90 mm 284.95 um 85.18 um 650.00 MeV 1.967E-01 8.444E-05 7.96 mm 322.78 um 97.86 um 700.00 MeV 1.858E-01 7.893E-05 9.09 mm 360.72 um 111.26 um 800.00 MeV 1.678E-01 6.988E-05 11.53 mm 500.59 um 140.13 um 900.00 MeV 1.536E-01 6.276E-05 14.21 mm 629.67 um 171.63 um 1.00 GeV 1.420E-01 5.700E-05 17.13 mm 754.34 um 205.60 um 1.10 GeV 1.324E-01 5.224E-05 20.27 mm 877.11 um 241.92 um 1.20 GeV 1.244E-01 4.824E-05 23.63 mm 999.11 um 280.45 um 1.30 GeV 1.175E-01 4.483E-05 27.19 mm 1.12 mm 321.09 um 1.40 GeV 1.115E-01 4.189E-05 30.95 mm 1.24 mm 363.73 um 1.50 GeV 1.063E-01 3.932E-05 34.91 mm 1.37 mm 408.26 um 1.60 GeV 1.018E-01 3.706E-05 39.05 mm 1.49 mm 454.60 um 1.70 GeV 9.770E-02 3.506E-05 43.37 mm 1.61 mm 502.66 um 1.80 GeV 9.407E-02 3.326E-05 47.86 mm 1.73 mm 552.34 um 2.00 GeV 8.786E-02 3.019E-05 57.33 mm 2.20 mm 656.35 um 2.25 GeV 8.161E-02 2.710E-05 70.05 mm 2.85 mm 794.23 um 2.50 GeV 7.657E-02 2.459E-05 83.67 mm 3.44 mm 939.93 um 2.75 GeV 7.243E-02 2.253E-05 98.13 mm 4.01 mm 1.09 mm 3.00 GeV 6.898E-02 2.079E-05 113.37 mm 4.56 mm 1.25 mm 3.25 GeV 6.605E-02 1.931E-05 129.32 mm 5.09 mm 1.42 mm 3.50 GeV 6.354E-02 1.804E-05 145.94 mm 5.62 mm 1.58 mm 3.75 GeV 6.137E-02 1.692E-05 163.19 mm 6.13 mm 1.76 mm 4.00 GeV 5.948E-02 1.594E-05 181.01 mm 6.64 mm 1.93 mm 4.50 GeV 5.633E-02 1.430E-05 218.22 mm 8.48 mm 2.30 mm 5.00 GeV 5.384E-02 1.297E-05 257.33 mm 10.14 mm 2.67 mm 5.50 GeV 5.183E-02 1.188E-05 298.09 mm 11.68 mm 3.05 mm 6.00 GeV 5.018E-02 1.096E-05 340.33 mm 13.13 mm 3.44 mm 6.50 GeV 4.880E-02 1.018E-05 383.85 mm 14.51 mm 3.83 mm 7.00 GeV 4.765E-02 9.502E-06 428.51 mm 15.84 mm 4.23 mm 8.00 GeV 4.582E-02 8.396E-06 520.70 mm 20.54 mm 5.02 mm 9.00 GeV 4.447E-02 7.527E-06 616.12 mm 24.60 mm 5.81 mm 10.00 GeV 4.345E-02 6.826E-06 714.11 mm 28.26 mm 6.59 mm 11.00 GeV 4.267E-02 6.248E-06 814.15 mm 31.62 mm 7.37 mm 12.00 GeV 4.205E-02 5.762E-06 915.84 mm 34.76 mm 8.14 mm 13.00 GeV 4.157E-02 5.349E-06 1.02 m 37.71 mm 8.89 mm 14.00 GeV 4.120E-02 4.993E-06 1.12 m 40.50 mm 9.63 mm 15.00 GeV 4.090E-02 4.683E-06 1.23 m 43.15 mm 10.36 mm 16.00 GeV 4.067E-02 4.410E-06 1.33 m 45.68 mm 11.07 mm 17.00 GeV 4.048E-02 4.168E-06 1.44 m 48.10 mm 11.77 mm 18.00 GeV 4.034E-02 3.952E-06 1.55 m 50.43 mm 12.46 mm 20.00 GeV 4.016E-02 3.582E-06 1.76 m 58.85 mm 13.79 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 8.8534E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler