================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_Cl_35 Ion = Chlorine [17] , Mass = 34.9689 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Chlorine [17] , Mass = 34.9689 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 350.00 keV 2.400E+00 1.042E+00 3809 A 909 A 750 A 375.00 keV 2.474E+00 1.005E+00 4091 A 955 A 796 A 400.00 keV 2.553E+00 9.700E-01 4371 A 999 A 841 A 450.00 keV 2.723E+00 9.085E-01 4922 A 1082 A 930 A 500.00 keV 2.905E+00 8.555E-01 5457 A 1157 A 1014 A 550.00 keV 3.093E+00 8.091E-01 5976 A 1225 A 1095 A 600.00 keV 3.286E+00 7.683E-01 6478 A 1287 A 1170 A 650.00 keV 3.480E+00 7.319E-01 6963 A 1342 A 1242 A 700.00 keV 3.675E+00 6.994E-01 7431 A 1393 A 1309 A 800.00 keV 4.061E+00 6.433E-01 8322 A 1484 A 1432 A 900.00 keV 4.437E+00 5.966E-01 9157 A 1561 A 1542 A 1.00 MeV 4.800E+00 5.570E-01 9943 A 1626 A 1639 A 1.10 MeV 5.147E+00 5.230E-01 1.07 um 1682 A 1726 A 1.20 MeV 5.479E+00 4.934E-01 1.14 um 1732 A 1805 A 1.30 MeV 5.795E+00 4.674E-01 1.21 um 1775 A 1877 A 1.40 MeV 6.096E+00 4.443E-01 1.27 um 1814 A 1942 A 1.50 MeV 6.381E+00 4.237E-01 1.33 um 1849 A 2002 A 1.60 MeV 6.653E+00 4.051E-01 1.39 um 1880 A 2057 A 1.70 MeV 6.911E+00 3.883E-01 1.45 um 1909 A 2109 A 1.80 MeV 7.157E+00 3.729E-01 1.51 um 1936 A 2157 A 2.00 MeV 7.615E+00 3.460E-01 1.62 um 1985 A 2243 A 2.25 MeV 8.130E+00 3.179E-01 1.74 um 2040 A 2338 A 2.50 MeV 8.593E+00 2.945E-01 1.87 um 2086 A 2422 A 2.75 MeV 9.012E+00 2.746E-01 1.98 um 2127 A 2495 A 3.00 MeV 9.395E+00 2.575E-01 2.09 um 2162 A 2562 A 3.25 MeV 9.746E+00 2.426E-01 2.20 um 2194 A 2622 A 3.50 MeV 1.007E+01 2.295E-01 2.31 um 2223 A 2677 A 3.75 MeV 1.037E+01 2.178E-01 2.41 um 2250 A 2728 A 4.00 MeV 1.065E+01 2.074E-01 2.51 um 2274 A 2776 A 4.50 MeV 1.116E+01 1.896E-01 2.70 um 2326 A 2861 A 5.00 MeV 1.162E+01 1.749E-01 2.88 um 2371 A 2937 A 5.50 MeV 1.202E+01 1.625E-01 3.06 um 2411 A 3005 A 6.00 MeV 1.239E+01 1.518E-01 3.23 um 2447 A 3066 A 6.50 MeV 1.273E+01 1.426E-01 3.40 um 2480 A 3123 A 7.00 MeV 1.303E+01 1.346E-01 3.57 um 2510 A 3175 A 8.00 MeV 1.357E+01 1.211E-01 3.89 um 2585 A 3269 A 9.00 MeV 1.403E+01 1.103E-01 4.19 um 2651 A 3353 A 10.00 MeV 1.442E+01 1.014E-01 4.49 um 2710 A 3428 A 11.00 MeV 1.477E+01 9.388E-02 4.79 um 2764 A 3496 A 12.00 MeV 1.506E+01 8.751E-02 5.07 um 2815 A 3559 A 13.00 MeV 1.532E+01 8.202E-02 5.35 um 2862 A 3618 A 14.00 MeV 1.556E+01 7.722E-02 5.63 um 2906 A 3673 A 15.00 MeV 1.576E+01 7.300E-02 5.90 um 2949 A 3724 A 16.00 MeV 1.594E+01 6.924E-02 6.17 um 2989 A 3773 A 17.00 MeV 1.611E+01 6.589E-02 6.44 um 3027 A 3820 A 18.00 MeV 1.625E+01 6.286E-02 6.70 um 3064 A 3865 A 20.00 MeV 1.650E+01 5.763E-02 7.23 um 3177 A 3949 A 22.50 MeV 1.674E+01 5.228E-02 7.87 um 3334 A 4045 A 25.00 MeV 1.693E+01 4.790E-02 8.51 um 3478 A 4135 A 27.50 MeV 1.707E+01 4.424E-02 9.14 um 3614 A 4219 A 30.00 MeV 1.718E+01 4.113E-02 9.77 um 3742 A 4299 A 32.50 MeV 1.725E+01 3.846E-02 10.39 um 3864 A 4375 A 35.00 MeV 1.731E+01 3.614E-02 11.01 um 3981 A 4448 A 37.50 MeV 1.734E+01 3.410E-02 11.63 um 4094 A 4518 A 40.00 MeV 1.735E+01 3.229E-02 12.25 um 4204 A 4586 A 45.00 MeV 1.734E+01 2.923E-02 13.49 um 4584 A 4716 A 50.00 MeV 1.728E+01 2.673E-02 14.73 um 4936 A 4840 A 55.00 MeV 1.719E+01 2.464E-02 15.98 um 5266 A 4959 A 60.00 MeV 1.707E+01 2.288E-02 17.23 um 5581 A 5076 A 65.00 MeV 1.694E+01 2.137E-02 18.50 um 5882 A 5189 A 70.00 MeV 1.679E+01 2.005E-02 19.77 um 6174 A 5300 A 80.00 MeV 1.638E+01 1.788E-02 22.37 um 7218 A 5518 A 90.00 MeV 1.586E+01 1.615E-02 25.04 um 8179 A 5734 A 100.00 MeV 1.542E+01 1.475E-02 27.79 um 9088 A 5949 A 110.00 MeV 1.499E+01 1.358E-02 30.62 um 9961 A 6166 A 120.00 MeV 1.457E+01 1.259E-02 33.53 um 1.08 um 6385 A 130.00 MeV 1.416E+01 1.175E-02 36.53 um 1.16 um 6606 A 140.00 MeV 1.378E+01 1.101E-02 39.61 um 1.25 um 6831 A 150.00 MeV 1.340E+01 1.037E-02 42.78 um 1.33 um 7059 A 160.00 MeV 1.305E+01 9.804E-03 46.03 um 1.41 um 7292 A 170.00 MeV 1.271E+01 9.298E-03 49.37 um 1.49 um 7529 A 180.00 MeV 1.239E+01 8.845E-03 52.81 um 1.57 um 7771 A 200.00 MeV 1.179E+01 8.065E-03 59.93 um 1.87 um 8270 A 225.00 MeV 1.111E+01 7.273E-03 69.34 um 2.30 um 8922 A 250.00 MeV 1.051E+01 6.630E-03 79.30 um 2.70 um 9609 A 275.00 MeV 9.977E+00 6.096E-03 89.81 um 3.09 um 1.03 um 300.00 MeV 9.497E+00 5.646E-03 100.87 um 3.47 um 1.11 um 325.00 MeV 9.065E+00 5.260E-03 112.48 um 3.84 um 1.19 um 350.00 MeV 8.674E+00 4.927E-03 124.62 um 4.22 um 1.27 um 375.00 MeV 8.319E+00 4.635E-03 137.29 um 4.59 um 1.36 um 400.00 MeV 7.996E+00 4.377E-03 150.49 um 4.96 um 1.44 um 450.00 MeV 7.426E+00 3.943E-03 178.44 um 6.35 um 1.63 um 500.00 MeV 6.941E+00 3.590E-03 208.44 um 7.65 um 1.83 um 550.00 MeV 6.523E+00 3.298E-03 240.44 um 8.90 um 2.05 um 600.00 MeV 6.158E+00 3.052E-03 274.42 um 10.13 um 2.27 um 650.00 MeV 5.836E+00 2.842E-03 310.35 um 11.34 um 2.51 um 700.00 MeV 5.549E+00 2.660E-03 348.19 um 12.56 um 2.75 um 800.00 MeV 5.061E+00 2.361E-03 429.48 um 17.05 um 3.28 um 900.00 MeV 4.660E+00 2.124E-03 518.18 um 21.19 um 3.86 um 1.00 GeV 4.325E+00 1.933E-03 614.13 um 25.19 um 4.47 um 1.10 GeV 4.038E+00 1.774E-03 717.22 um 29.13 um 5.13 um 1.20 GeV 3.790E+00 1.641E-03 827.34 um 33.06 um 5.82 um 1.30 GeV 3.574E+00 1.527E-03 944.39 um 37.01 um 6.55 um 1.40 GeV 3.385E+00 1.428E-03 1.07 mm 40.98 um 7.33 um 1.50 GeV 3.218E+00 1.342E-03 1.20 mm 44.98 um 8.14 um 1.60 GeV 3.065E+00 1.266E-03 1.34 mm 49.02 um 8.98 um 1.70 GeV 2.925E+00 1.199E-03 1.48 mm 53.11 um 9.87 um 1.80 GeV 2.799E+00 1.138E-03 1.63 mm 57.26 um 10.79 um 2.00 GeV 2.582E+00 1.035E-03 1.95 mm 73.11 um 12.74 um 2.25 GeV 2.361E+00 9.304E-04 2.39 mm 95.77 um 15.37 um 2.50 GeV 2.179E+00 8.457E-04 2.86 mm 117.07 um 18.22 um 2.75 GeV 2.028E+00 7.757E-04 3.37 mm 137.78 um 21.27 um 3.00 GeV 1.901E+00 7.168E-04 3.92 mm 158.24 um 24.52 um 3.25 GeV 1.791E+00 6.665E-04 4.51 mm 178.59 um 27.96 um 3.50 GeV 1.696E+00 6.231E-04 5.12 mm 198.95 um 31.58 um 3.75 GeV 1.613E+00 5.852E-04 5.78 mm 219.35 um 35.38 um 4.00 GeV 1.540E+00 5.518E-04 6.46 mm 239.84 um 39.34 um 4.50 GeV 1.416E+00 4.957E-04 7.92 mm 316.66 um 47.76 um 5.00 GeV 1.316E+00 4.503E-04 9.50 mm 387.70 um 56.77 um 5.50 GeV 1.233E+00 4.128E-04 11.19 mm 455.86 um 66.36 um 6.00 GeV 1.163E+00 3.812E-04 12.99 mm 522.38 um 76.46 um 6.50 GeV 1.103E+00 3.543E-04 14.89 mm 587.87 um 87.06 um 7.00 GeV 1.052E+00 3.311E-04 16.89 mm 652.69 um 98.12 um 8.00 GeV 9.677E-01 2.930E-04 21.16 mm 889.96 um 121.49 um 9.00 GeV 9.018E-01 2.630E-04 25.77 mm 1.10 mm 146.35 um 10.00 GeV 8.488E-01 2.388E-04 30.70 mm 1.31 mm 172.52 um 11.00 GeV 8.053E-01 2.188E-04 35.91 mm 1.50 mm 199.83 um 12.00 GeV 7.690E-01 2.020E-04 41.38 mm 1.69 mm 228.12 um 13.00 GeV 7.384E-01 1.877E-04 47.10 mm 1.87 mm 257.29 um 14.00 GeV 7.122E-01 1.753E-04 53.04 mm 2.05 mm 287.21 um 15.00 GeV 6.896E-01 1.646E-04 59.19 mm 2.23 mm 317.78 um 16.00 GeV 6.699E-01 1.551E-04 65.52 mm 2.41 mm 348.91 um 17.00 GeV 6.526E-01 1.466E-04 72.04 mm 2.58 mm 380.53 um 18.00 GeV 6.373E-01 1.391E-04 78.72 mm 2.74 mm 412.57 um 20.00 GeV 6.116E-01 1.263E-04 92.52 mm 3.37 mm 477.67 um 22.50 GeV 5.865E-01 1.133E-04 110.50 mm 4.22 mm 560.42 um 25.00 GeV 5.669E-01 1.028E-04 129.18 mm 4.98 mm 644.10 um 27.50 GeV 5.513E-01 9.411E-05 148.45 mm 5.68 mm 728.19 um 30.00 GeV 5.387E-01 8.684E-05 168.21 mm 6.33 mm 812.34 um 32.50 GeV 5.285E-01 8.064E-05 188.40 mm 6.95 mm 896.24 um 35.00 GeV 5.201E-01 7.530E-05 208.94 mm 7.53 mm 979.69 um 37.50 GeV 5.131E-01 7.065E-05 229.79 mm 8.09 mm 1.06 mm 40.00 GeV 5.073E-01 6.655E-05 250.89 mm 8.63 mm 1.14 mm 45.00 GeV 4.983E-01 5.967E-05 293.74 mm 10.54 mm 1.31 mm 50.00 GeV 4.919E-01 5.412E-05 337.25 mm 12.21 mm 1.46 mm 55.00 GeV 4.873E-01 4.954E-05 381.24 mm 13.71 mm 1.62 mm 60.00 GeV 4.841E-01 4.570E-05 425.59 mm 15.07 mm 1.77 mm 65.00 GeV 4.819E-01 4.243E-05 470.18 mm 16.34 mm 1.91 mm 70.00 GeV 4.804E-01 3.960E-05 514.94 mm 17.53 mm 2.05 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 1.4717E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler