================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_F_19 Ion = Fluorine [9] , Mass = 18.9984 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Fluorine [9] , Mass = 18.9984 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 200.00 keV 1.685E+00 3.372E-01 4245 A 1130 A 1020 A 225.00 keV 1.823E+00 3.144E-01 4706 A 1198 A 1103 A 250.00 keV 1.957E+00 2.948E-01 5147 A 1257 A 1180 A 275.00 keV 2.088E+00 2.779E-01 5569 A 1310 A 1250 A 300.00 keV 2.214E+00 2.631E-01 5975 A 1357 A 1314 A 325.00 keV 2.336E+00 2.499E-01 6365 A 1399 A 1374 A 350.00 keV 2.453E+00 2.382E-01 6741 A 1437 A 1429 A 375.00 keV 2.567E+00 2.277E-01 7105 A 1472 A 1481 A 400.00 keV 2.678E+00 2.182E-01 7457 A 1504 A 1529 A 450.00 keV 2.890E+00 2.016E-01 8131 A 1561 A 1616 A 500.00 keV 3.090E+00 1.877E-01 8768 A 1610 A 1693 A 550.00 keV 3.280E+00 1.758E-01 9375 A 1652 A 1761 A 600.00 keV 3.462E+00 1.655E-01 9954 A 1689 A 1823 A 650.00 keV 3.636E+00 1.564E-01 1.05 um 1722 A 1880 A 700.00 keV 3.804E+00 1.484E-01 1.10 um 1751 A 1931 A 800.00 keV 4.122E+00 1.349E-01 1.21 um 1804 A 2022 A 900.00 keV 4.419E+00 1.238E-01 1.30 um 1848 A 2100 A 1.00 MeV 4.697E+00 1.146E-01 1.39 um 1885 A 2168 A 1.10 MeV 4.959E+00 1.068E-01 1.47 um 1917 A 2228 A 1.20 MeV 5.206E+00 1.001E-01 1.56 um 1945 A 2282 A 1.30 MeV 5.438E+00 9.430E-02 1.63 um 1970 A 2330 A 1.40 MeV 5.656E+00 8.917E-02 1.71 um 1992 A 2374 A 1.50 MeV 5.861E+00 8.463E-02 1.78 um 2012 A 2415 A 1.60 MeV 6.054E+00 8.057E-02 1.85 um 2030 A 2452 A 1.70 MeV 6.234E+00 7.691E-02 1.92 um 2046 A 2486 A 1.80 MeV 6.402E+00 7.361E-02 1.99 um 2061 A 2518 A 2.00 MeV 6.707E+00 6.786E-02 2.11 um 2092 A 2577 A 2.25 MeV 7.033E+00 6.191E-02 2.27 um 2128 A 2640 A 2.50 MeV 7.304E+00 5.701E-02 2.41 um 2160 A 2697 A 2.75 MeV 7.529E+00 5.289E-02 2.56 um 2188 A 2747 A 3.00 MeV 7.715E+00 4.937E-02 2.70 um 2214 A 2793 A 3.25 MeV 7.867E+00 4.632E-02 2.83 um 2237 A 2836 A 3.50 MeV 7.990E+00 4.366E-02 2.97 um 2259 A 2875 A 3.75 MeV 8.090E+00 4.131E-02 3.10 um 2280 A 2912 A 4.00 MeV 8.169E+00 3.922E-02 3.23 um 2300 A 2947 A 4.50 MeV 8.280E+00 3.567E-02 3.49 um 2351 A 3011 A 5.00 MeV 8.342E+00 3.274E-02 3.75 um 2399 A 3071 A 5.50 MeV 8.371E+00 3.030E-02 4.00 um 2445 A 3126 A 6.00 MeV 8.375E+00 2.822E-02 4.26 um 2489 A 3179 A 6.50 MeV 8.363E+00 2.642E-02 4.51 um 2531 A 3229 A 7.00 MeV 8.340E+00 2.486E-02 4.77 um 2573 A 3277 A 8.00 MeV 8.273E+00 2.226E-02 5.29 um 2703 A 3368 A 9.00 MeV 8.192E+00 2.019E-02 5.81 um 2829 A 3455 A 10.00 MeV 8.108E+00 1.849E-02 6.33 um 2950 A 3539 A 11.00 MeV 8.024E+00 1.707E-02 6.87 um 3068 A 3620 A 12.00 MeV 7.943E+00 1.587E-02 7.40 um 3184 A 3699 A 13.00 MeV 7.866E+00 1.484E-02 7.95 um 3298 A 3777 A 14.00 MeV 7.794E+00 1.394E-02 8.49 um 3409 A 3853 A 15.00 MeV 7.725E+00 1.315E-02 9.05 um 3519 A 3929 A 16.00 MeV 7.661E+00 1.245E-02 9.61 um 3627 A 4004 A 17.00 MeV 7.600E+00 1.183E-02 10.17 um 3733 A 4078 A 18.00 MeV 7.542E+00 1.127E-02 10.74 um 3838 A 4151 A 20.00 MeV 7.434E+00 1.030E-02 11.89 um 4203 A 4296 A 22.50 MeV 7.310E+00 9.317E-03 13.34 um 4723 A 4476 A 25.00 MeV 7.195E+00 8.513E-03 14.83 um 5205 A 4654 A 27.50 MeV 7.087E+00 7.845E-03 16.33 um 5659 A 4831 A 30.00 MeV 6.983E+00 7.279E-03 17.86 um 6092 A 5007 A 32.50 MeV 6.882E+00 6.794E-03 19.41 um 6508 A 5183 A 35.00 MeV 6.784E+00 6.373E-03 20.98 um 6909 A 5358 A 37.50 MeV 6.687E+00 6.005E-03 22.58 um 7300 A 5534 A 40.00 MeV 6.594E+00 5.678E-03 24.20 um 7681 A 5709 A 45.00 MeV 6.344E+00 5.127E-03 27.53 um 9062 A 6063 A 50.00 MeV 6.121E+00 4.678E-03 30.98 um 1.03 um 6422 A 55.00 MeV 5.916E+00 4.305E-03 34.56 um 1.16 um 6787 A 60.00 MeV 5.720E+00 3.991E-03 38.26 um 1.27 um 7159 A 65.00 MeV 5.531E+00 3.721E-03 42.08 um 1.39 um 7539 A 70.00 MeV 5.351E+00 3.487E-03 46.04 um 1.50 um 7927 A 80.00 MeV 5.014E+00 3.102E-03 54.35 um 1.92 um 8732 A 90.00 MeV 4.707E+00 2.797E-03 63.22 um 2.30 um 9576 A 100.00 MeV 4.427E+00 2.549E-03 72.65 um 2.67 um 1.05 um 110.00 MeV 4.173E+00 2.344E-03 82.67 um 3.03 um 1.14 um 120.00 MeV 3.941E+00 2.170E-03 93.29 um 3.39 um 1.24 um 130.00 MeV 3.731E+00 2.022E-03 104.52 um 3.75 um 1.34 um 140.00 MeV 3.540E+00 1.894E-03 116.37 um 4.12 um 1.45 um 150.00 MeV 3.366E+00 1.781E-03 128.84 um 4.49 um 1.56 um 160.00 MeV 3.207E+00 1.682E-03 141.95 um 4.87 um 1.68 um 170.00 MeV 3.061E+00 1.594E-03 155.70 um 5.25 um 1.81 um 180.00 MeV 2.928E+00 1.515E-03 170.08 um 5.64 um 1.94 um 200.00 MeV 2.694E+00 1.379E-03 200.76 um 7.14 um 2.21 um 225.00 MeV 2.450E+00 1.242E-03 242.67 um 9.31 um 2.59 um 250.00 MeV 2.250E+00 1.131E-03 288.53 um 11.37 um 3.00 um 275.00 MeV 2.084E+00 1.038E-03 338.24 um 13.40 um 3.44 um 300.00 MeV 1.945E+00 9.605E-04 391.72 um 15.41 um 3.92 um 325.00 MeV 1.827E+00 8.940E-04 448.85 um 17.44 um 4.43 um 350.00 MeV 1.725E+00 8.366E-04 509.50 um 19.47 um 4.97 um 375.00 MeV 1.637E+00 7.864E-04 573.57 um 21.51 um 5.54 um 400.00 MeV 1.560E+00 7.421E-04 640.95 um 23.56 um 6.14 um 450.00 MeV 1.430E+00 6.675E-04 785.15 um 31.24 um 7.42 um 500.00 MeV 1.323E+00 6.071E-04 941.75 um 38.36 um 8.80 um 550.00 MeV 1.230E+00 5.572E-04 1.11 mm 45.27 um 10.28 um 600.00 MeV 1.149E+00 5.151E-04 1.29 mm 52.10 um 11.86 um 650.00 MeV 1.078E+00 4.792E-04 1.49 mm 58.94 um 13.53 um 700.00 MeV 1.017E+00 4.482E-04 1.69 mm 65.82 um 15.31 um 800.00 MeV 9.154E-01 3.972E-04 2.14 mm 91.40 um 19.14 um 900.00 MeV 8.345E-01 3.570E-04 2.63 mm 115.14 um 23.35 um 1.00 GeV 7.685E-01 3.245E-04 3.17 mm 138.21 um 27.91 um 1.10 GeV 7.135E-01 2.976E-04 3.75 mm 161.07 um 32.81 um 1.20 GeV 6.670E-01 2.750E-04 4.37 mm 183.93 um 38.05 um 1.30 GeV 6.271E-01 2.557E-04 5.04 mm 206.90 um 43.61 um 1.40 GeV 5.925E-01 2.390E-04 5.75 mm 230.04 um 49.48 um 1.50 GeV 5.622E-01 2.244E-04 6.49 mm 253.39 um 55.66 um 1.60 GeV 5.355E-01 2.116E-04 7.28 mm 276.96 um 62.12 um 1.70 GeV 5.116E-01 2.003E-04 8.10 mm 300.75 um 68.88 um 1.80 GeV 4.903E-01 1.901E-04 8.96 mm 324.76 um 75.91 um 2.00 GeV 4.536E-01 1.727E-04 10.79 mm 415.69 um 90.78 um 2.25 GeV 4.164E-01 1.551E-04 13.27 mm 544.55 um 110.80 um 2.50 GeV 3.863E-01 1.408E-04 15.95 mm 664.76 um 132.31 um 2.75 GeV 3.614E-01 1.291E-04 18.83 mm 780.70 um 155.21 um 3.00 GeV 3.404E-01 1.192E-04 21.90 mm 894.30 um 179.41 um 3.25 GeV 3.225E-01 1.108E-04 25.15 mm 1.01 mm 204.83 um 3.50 GeV 3.071E-01 1.035E-04 28.58 mm 1.12 mm 231.39 um 3.75 GeV 2.937E-01 9.713E-05 32.16 mm 1.23 mm 259.02 um 4.00 GeV 2.819E-01 9.155E-05 35.91 mm 1.34 mm 287.66 um 4.50 GeV 2.621E-01 8.216E-05 43.83 mm 1.75 mm 347.73 um 5.00 GeV 2.461E-01 7.458E-05 52.31 mm 2.12 mm 411.14 um 5.50 GeV 2.331E-01 6.832E-05 61.31 mm 2.48 mm 477.50 um 6.00 GeV 2.222E-01 6.306E-05 70.77 mm 2.82 mm 546.44 um 6.50 GeV 2.129E-01 5.858E-05 80.67 mm 3.15 mm 617.67 um 7.00 GeV 2.050E-01 5.472E-05 90.98 mm 3.47 mm 690.92 um 8.00 GeV 1.922E-01 4.838E-05 112.69 mm 4.64 mm 842.54 um 9.00 GeV 1.823E-01 4.340E-05 135.70 mm 5.67 mm 999.62 um 10.00 GeV 1.745E-01 3.937E-05 159.85 mm 6.62 mm 1.16 mm 11.00 GeV 1.682E-01 3.605E-05 184.99 mm 7.52 mm 1.33 mm 12.00 GeV 1.631E-01 3.327E-05 211.00 mm 8.38 mm 1.49 mm 13.00 GeV 1.588E-01 3.089E-05 237.77 mm 9.20 mm 1.66 mm 14.00 GeV 1.552E-01 2.885E-05 265.21 mm 9.99 mm 1.83 mm 15.00 GeV 1.521E-01 2.706E-05 293.24 mm 10.75 mm 2.00 mm 16.00 GeV 1.495E-01 2.549E-05 321.80 mm 11.49 mm 2.17 mm 17.00 GeV 1.473E-01 2.410E-05 350.82 mm 12.20 mm 2.34 mm 18.00 GeV 1.454E-01 2.286E-05 380.25 mm 12.90 mm 2.50 mm 20.00 GeV 1.423E-01 2.073E-05 440.17 mm 15.44 mm 2.84 mm 22.50 GeV 1.393E-01 1.858E-05 516.66 mm 18.86 mm 3.25 mm 25.00 GeV 1.372E-01 1.685E-05 594.53 mm 21.85 mm 3.65 mm 27.50 GeV 1.357E-01 1.542E-05 673.44 mm 24.54 mm 4.05 mm 30.00 GeV 1.346E-01 1.422E-05 753.13 mm 27.02 mm 4.43 mm 32.50 GeV 1.338E-01 1.320E-05 833.39 mm 29.31 mm 4.81 mm 35.00 GeV 1.332E-01 1.232E-05 914.07 mm 31.46 mm 5.18 mm 37.50 GeV 1.328E-01 1.156E-05 995.04 mm 33.49 mm 5.53 mm 38.00 GeV 1.327E-01 1.142E-05 1.01 m 33.57 mm 5.60 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 3.4514E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler