================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_H_1 Ion = Hydrogen [1] , Mass = 1.00783 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Hydrogen [1] , Mass = 1.00783 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 10.00 keV 3.131E-01 4.221E-03 1342 A 519 A 488 A 11.00 keV 3.277E-01 3.994E-03 1452 A 538 A 511 A 12.00 keV 3.419E-01 3.793E-03 1558 A 554 A 532 A 13.00 keV 3.556E-01 3.615E-03 1662 A 569 A 552 A 14.00 keV 3.688E-01 3.454E-03 1762 A 583 A 571 A 15.00 keV 3.814E-01 3.310E-03 1861 A 596 A 589 A 16.00 keV 3.933E-01 3.179E-03 1957 A 608 A 605 A 17.00 keV 4.046E-01 3.059E-03 2051 A 619 A 621 A 18.00 keV 4.152E-01 2.949E-03 2143 A 629 A 636 A 20.00 keV 4.347E-01 2.754E-03 2323 A 648 A 664 A 22.50 keV 4.556E-01 2.548E-03 2540 A 669 A 696 A 25.00 keV 4.732E-01 2.375E-03 2750 A 688 A 725 A 27.50 keV 4.878E-01 2.226E-03 2955 A 704 A 752 A 30.00 keV 4.999E-01 2.097E-03 3157 A 720 A 778 A 32.50 keV 5.098E-01 1.983E-03 3355 A 734 A 801 A 35.00 keV 5.177E-01 1.883E-03 3550 A 747 A 824 A 37.50 keV 5.240E-01 1.794E-03 3744 A 759 A 845 A 40.00 keV 5.289E-01 1.713E-03 3936 A 771 A 866 A 45.00 keV 5.352E-01 1.574E-03 4319 A 793 A 905 A 50.00 keV 5.380E-01 1.459E-03 4701 A 814 A 942 A 55.00 keV 5.382E-01 1.360E-03 5084 A 833 A 977 A 60.00 keV 5.365E-01 1.276E-03 5468 A 852 A 1011 A 65.00 keV 5.334E-01 1.202E-03 5855 A 869 A 1044 A 70.00 keV 5.293E-01 1.137E-03 6246 A 886 A 1077 A 80.00 keV 5.192E-01 1.028E-03 7041 A 922 A 1140 A 90.00 keV 5.077E-01 9.401E-04 7856 A 957 A 1203 A 100.00 keV 4.957E-01 8.671E-04 8692 A 991 A 1265 A 110.00 keV 4.836E-01 8.056E-04 9550 A 1024 A 1326 A 120.00 keV 4.717E-01 7.530E-04 1.04 um 1057 A 1388 A 130.00 keV 4.602E-01 7.074E-04 1.13 um 1091 A 1450 A 140.00 keV 4.492E-01 6.674E-04 1.23 um 1124 A 1513 A 150.00 keV 4.386E-01 6.321E-04 1.32 um 1158 A 1577 A 160.00 keV 4.286E-01 6.007E-04 1.42 um 1192 A 1641 A 170.00 keV 4.190E-01 5.725E-04 1.52 um 1226 A 1706 A 180.00 keV 4.099E-01 5.471E-04 1.62 um 1260 A 1772 A 200.00 keV 3.930E-01 5.029E-04 1.83 um 1347 A 1907 A 225.00 keV 3.741E-01 4.575E-04 2.11 um 1466 A 2081 A 250.00 keV 3.573E-01 4.202E-04 2.40 um 1587 A 2261 A 275.00 keV 3.423E-01 3.889E-04 2.70 um 1710 A 2447 A 300.00 keV 3.288E-01 3.623E-04 3.02 um 1835 A 2638 A 325.00 keV 3.166E-01 3.394E-04 3.35 um 1961 A 2836 A 350.00 keV 3.055E-01 3.194E-04 3.69 um 2089 A 3040 A 375.00 keV 2.953E-01 3.018E-04 4.05 um 2219 A 3249 A 400.00 keV 2.860E-01 2.862E-04 4.41 um 2351 A 3463 A 450.00 keV 2.696E-01 2.596E-04 5.18 um 2727 A 3908 A 500.00 keV 2.554E-01 2.379E-04 5.99 um 3099 A 4373 A 550.00 keV 2.430E-01 2.197E-04 6.85 um 3468 A 4858 A 600.00 keV 2.321E-01 2.043E-04 7.75 um 3838 A 5361 A 650.00 keV 2.223E-01 1.910E-04 8.69 um 4209 A 5881 A 700.00 keV 2.136E-01 1.795E-04 9.67 um 4582 A 6419 A 800.00 keV 1.986E-01 1.604E-04 11.74 um 5719 A 7543 A 900.00 keV 1.861E-01 1.452E-04 13.97 um 6807 A 8729 A 1.00 MeV 1.755E-01 1.328E-04 16.33 um 7872 A 9973 A 1.10 MeV 1.662E-01 1.224E-04 18.84 um 8927 A 1.13 um 1.20 MeV 1.570E-01 1.137E-04 21.49 um 9987 A 1.26 um 1.30 MeV 1.492E-01 1.062E-04 24.28 um 1.11 um 1.41 um 1.40 MeV 1.423E-01 9.963E-05 27.22 um 1.21 um 1.55 um 1.50 MeV 1.361E-01 9.391E-05 30.29 um 1.32 um 1.71 um 1.60 MeV 1.304E-01 8.884E-05 33.51 um 1.44 um 1.87 um 1.70 MeV 1.253E-01 8.433E-05 36.86 um 1.55 um 2.03 um 1.80 MeV 1.206E-01 8.027E-05 40.34 um 1.66 um 2.20 um 2.00 MeV 1.124E-01 7.330E-05 47.69 um 2.04 um 2.56 um 2.25 MeV 1.037E-01 6.619E-05 57.61 um 2.56 um 3.03 um 2.50 MeV 9.643E-02 6.041E-05 68.33 um 3.07 um 3.54 um 2.75 MeV 9.022E-02 5.561E-05 79.81 um 3.57 um 4.08 um 3.00 MeV 8.485E-02 5.155E-05 92.06 um 4.06 um 4.66 um 3.25 MeV 8.017E-02 4.808E-05 105.05 um 4.57 um 5.26 um 3.50 MeV 7.603E-02 4.506E-05 118.77 um 5.07 um 5.89 um 3.75 MeV 7.235E-02 4.242E-05 133.22 um 5.59 um 6.55 um 4.00 MeV 6.905E-02 4.009E-05 148.38 um 6.11 um 7.24 um 4.50 MeV 6.337E-02 3.616E-05 180.79 um 7.86 um 8.71 um 5.00 MeV 5.865E-02 3.296E-05 215.96 um 9.54 um 10.29 um 5.50 MeV 5.466E-02 3.031E-05 253.83 um 11.19 um 11.97 um 6.00 MeV 5.123E-02 2.807E-05 294.35 um 12.84 um 13.77 um 6.50 MeV 4.825E-02 2.615E-05 337.49 um 14.50 um 15.66 um 7.00 MeV 4.563E-02 2.450E-05 383.19 um 16.17 um 17.66 um 8.00 MeV 4.125E-02 2.177E-05 482.07 um 21.92 um 21.96 um 9.00 MeV 3.771E-02 1.961E-05 590.85 um 27.36 um 26.64 um 10.00 MeV 3.479E-02 1.785E-05 709.31 um 32.70 um 31.71 um 11.00 MeV 3.233E-02 1.640E-05 837.27 um 38.04 um 37.15 um 12.00 MeV 3.022E-02 1.518E-05 974.54 um 43.43 um 42.95 um 13.00 MeV 2.841E-02 1.413E-05 1.12 mm 48.89 um 49.10 um 14.00 MeV 2.682E-02 1.323E-05 1.28 mm 54.44 um 55.60 um 15.00 MeV 2.541E-02 1.244E-05 1.44 mm 60.09 um 62.45 um 16.00 MeV 2.417E-02 1.174E-05 1.61 mm 65.84 um 69.63 um 17.00 MeV 2.305E-02 1.112E-05 1.80 mm 71.70 um 77.15 um 18.00 MeV 2.204E-02 1.057E-05 1.99 mm 77.66 um 84.99 um 20.00 MeV 2.029E-02 9.613E-06 2.39 mm 98.58 um 101.65 um 22.50 MeV 1.850E-02 8.648E-06 2.95 mm 128.38 um 124.24 um 25.00 MeV 1.703E-02 7.867E-06 3.55 mm 156.87 um 148.74 um 27.50 MeV 1.580E-02 7.220E-06 4.21 mm 184.95 um 175.10 um 30.00 MeV 1.475E-02 6.676E-06 4.91 mm 213.01 um 203.27 um 32.50 MeV 1.385E-02 6.211E-06 5.66 mm 241.26 um 233.21 um 35.00 MeV 1.307E-02 5.809E-06 6.46 mm 269.84 um 264.88 um 37.50 MeV 1.238E-02 5.458E-06 7.30 mm 298.80 um 298.24 um 40.00 MeV 1.177E-02 5.149E-06 8.19 mm 328.19 um 333.26 um 45.00 MeV 1.074E-02 4.628E-06 10.10 mm 432.38 um 408.15 um 50.00 MeV 9.893E-03 4.207E-06 12.18 mm 530.99 um 489.29 um 55.00 MeV 9.190E-03 3.859E-06 14.43 mm 627.51 um 576.45 um 60.00 MeV 8.595E-03 3.566E-06 16.85 mm 723.48 um 669.43 um 65.00 MeV 8.084E-03 3.316E-06 19.43 mm 819.68 um 768.04 um 70.00 MeV 7.640E-03 3.100E-06 22.16 mm 916.55 um 872.08 um 80.00 MeV 6.908E-03 2.745E-06 28.07 mm 1.26 mm 1.10 mm 90.00 MeV 6.328E-03 2.466E-06 34.57 mm 1.58 mm 1.34 mm 100.00 MeV 5.856E-03 2.240E-06 41.62 mm 1.89 mm 1.60 mm 110.00 MeV 5.465E-03 2.054E-06 49.22 mm 2.20 mm 1.88 mm 120.00 MeV 5.135E-03 1.897E-06 57.33 mm 2.50 mm 2.18 mm 130.00 MeV 4.853E-03 1.763E-06 65.93 mm 2.81 mm 2.49 mm 140.00 MeV 4.609E-03 1.648E-06 75.02 mm 3.12 mm 2.82 mm 150.00 MeV 4.396E-03 1.547E-06 84.56 mm 3.43 mm 3.16 mm 160.00 MeV 4.208E-03 1.458E-06 94.55 mm 3.74 mm 3.52 mm 170.00 MeV 4.041E-03 1.379E-06 104.97 mm 4.05 mm 3.88 mm 180.00 MeV 3.892E-03 1.309E-06 115.80 mm 4.37 mm 4.27 mm 200.00 MeV 3.637E-03 1.188E-06 138.65 mm 5.50 mm 5.06 mm 225.00 MeV 3.380E-03 1.067E-06 169.29 mm 7.08 mm 6.11 mm 250.00 MeV 3.172E-03 9.683E-07 202.11 mm 8.55 mm 7.23 mm 275.00 MeV 3.002E-03 8.871E-07 236.92 mm 9.95 mm 8.39 mm 300.00 MeV 2.860E-03 8.189E-07 273.60 mm 11.31 mm 9.60 mm 325.00 MeV 2.739E-03 7.608E-07 311.99 mm 12.64 mm 10.84 mm 350.00 MeV 2.635E-03 7.106E-07 351.99 mm 13.95 mm 12.13 mm 375.00 MeV 2.546E-03 6.668E-07 393.47 mm 15.23 mm 13.44 mm 400.00 MeV 2.468E-03 6.283E-07 436.35 mm 16.50 mm 14.79 mm 450.00 MeV 2.338E-03 5.637E-07 525.85 mm 20.98 mm 17.54 mm 500.00 MeV 2.235E-03 5.115E-07 619.90 mm 25.03 mm 20.37 mm 550.00 MeV 2.152E-03 4.684E-07 717.93 mm 28.80 mm 23.26 mm 600.00 MeV 2.084E-03 4.322E-07 819.47 mm 32.38 mm 26.18 mm 650.00 MeV 2.027E-03 4.014E-07 924.10 mm 35.80 mm 29.13 mm 700.00 MeV 1.979E-03 3.748E-07 1.03 m 39.08 mm 32.10 mm 800.00 MeV 1.904E-03 3.312E-07 1.25 m 50.43 mm 38.07 mm 900.00 MeV 1.848E-03 2.970E-07 1.48 m 60.29 mm 44.02 mm 1.00 GeV 1.805E-03 2.694E-07 1.72 m 69.20 mm 49.92 mm 1.10 GeV 1.773E-03 2.466E-07 1.96 m 77.42 mm 55.75 mm 1.20 GeV 1.748E-03 2.275E-07 2.20 m 85.10 mm 61.50 mm 1.30 GeV 1.728E-03 2.112E-07 2.45 m 92.34 mm 67.15 mm 1.40 GeV 1.712E-03 1.971E-07 2.70 m 99.19 mm 72.70 mm 1.50 GeV 1.700E-03 1.849E-07 2.95 m 105.71 mm 78.15 mm 1.60 GeV 1.690E-03 1.741E-07 3.21 m 111.95 mm 83.50 mm 1.70 GeV 1.683E-03 1.646E-07 3.46 m 117.92 mm 88.73 mm 1.80 GeV 1.677E-03 1.561E-07 3.72 m 123.65 mm 93.87 mm 2.00 GeV 1.669E-03 1.415E-07 4.23 m 143.98 mm 103.83 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 2.9655E+01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler