================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_H_2 Ion = Hydrogen [1] , Mass = 2.0141 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Hydrogen [1] , Mass = 2.0141 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 20.00 keV 3.132E-01 5.439E-03 2920 A 897 A 898 A 22.50 keV 3.314E-01 5.035E-03 3210 A 931 A 948 A 25.00 keV 3.490E-01 4.693E-03 3487 A 961 A 992 A 27.50 keV 3.657E-01 4.400E-03 3755 A 988 A 1033 A 30.00 keV 3.815E-01 4.146E-03 4014 A 1012 A 1070 A 32.50 keV 3.963E-01 3.923E-03 4264 A 1034 A 1105 A 35.00 keV 4.101E-01 3.725E-03 4508 A 1054 A 1137 A 37.50 keV 4.230E-01 3.549E-03 4745 A 1072 A 1167 A 40.00 keV 4.348E-01 3.390E-03 4977 A 1089 A 1196 A 45.00 keV 4.557E-01 3.117E-03 5426 A 1120 A 1248 A 50.00 keV 4.733E-01 2.888E-03 5861 A 1147 A 1295 A 55.00 keV 4.880E-01 2.694E-03 6283 A 1171 A 1338 A 60.00 keV 5.000E-01 2.527E-03 6696 A 1193 A 1378 A 65.00 keV 5.099E-01 2.381E-03 7102 A 1213 A 1415 A 70.00 keV 5.178E-01 2.253E-03 7503 A 1232 A 1451 A 80.00 keV 5.289E-01 2.038E-03 8293 A 1268 A 1517 A 90.00 keV 5.352E-01 1.864E-03 9074 A 1300 A 1577 A 100.00 keV 5.380E-01 1.719E-03 9851 A 1331 A 1634 A 110.00 keV 5.382E-01 1.598E-03 1.06 um 1359 A 1688 A 120.00 keV 5.364E-01 1.493E-03 1.14 um 1385 A 1740 A 130.00 keV 5.333E-01 1.403E-03 1.22 um 1411 A 1790 A 140.00 keV 5.292E-01 1.324E-03 1.30 um 1436 A 1839 A 150.00 keV 5.244E-01 1.254E-03 1.38 um 1460 A 1888 A 160.00 keV 5.191E-01 1.192E-03 1.46 um 1484 A 1935 A 170.00 keV 5.135E-01 1.136E-03 1.54 um 1507 A 1982 A 180.00 keV 5.076E-01 1.086E-03 1.62 um 1530 A 2028 A 200.00 keV 4.956E-01 9.982E-04 1.79 um 1585 A 2120 A 225.00 keV 4.805E-01 9.083E-04 2.01 um 1657 A 2235 A 250.00 keV 4.658E-01 8.343E-04 2.24 um 1730 A 2349 A 275.00 keV 4.518E-01 7.723E-04 2.47 um 1803 A 2465 A 300.00 keV 4.385E-01 7.196E-04 2.71 um 1876 A 2582 A 325.00 keV 4.260E-01 6.741E-04 2.95 um 1950 A 2700 A 350.00 keV 4.143E-01 6.344E-04 3.21 um 2025 A 2821 A 375.00 keV 4.032E-01 5.995E-04 3.47 um 2101 A 2943 A 400.00 keV 3.929E-01 5.685E-04 3.73 um 2178 A 3067 A 450.00 keV 3.740E-01 5.158E-04 4.29 um 2399 A 3323 A 500.00 keV 3.571E-01 4.726E-04 4.88 um 2620 A 3587 A 550.00 keV 3.421E-01 4.366E-04 5.49 um 2843 A 3861 A 600.00 keV 3.286E-01 4.060E-04 6.12 um 3068 A 4143 A 650.00 keV 3.164E-01 3.797E-04 6.79 um 3294 A 4434 A 700.00 keV 3.053E-01 3.568E-04 7.48 um 3522 A 4733 A 800.00 keV 2.859E-01 3.189E-04 8.92 um 4237 A 5358 A 900.00 keV 2.694E-01 2.887E-04 10.47 um 4927 A 6013 A 1.00 MeV 2.553E-01 2.640E-04 12.10 um 5605 A 6699 A 1.10 MeV 2.429E-01 2.434E-04 13.82 um 6277 A 7414 A 1.20 MeV 2.320E-01 2.261E-04 15.63 um 6946 A 8156 A 1.30 MeV 2.223E-01 2.111E-04 17.51 um 7616 A 8925 A 1.40 MeV 2.135E-01 1.981E-04 19.48 um 8287 A 9718 A 1.50 MeV 2.057E-01 1.868E-04 21.53 um 8961 A 1.05 um 1.60 MeV 1.985E-01 1.767E-04 23.65 um 9638 A 1.14 um 1.70 MeV 1.920E-01 1.677E-04 25.84 um 1.03 um 1.22 um 1.80 MeV 1.860E-01 1.597E-04 28.11 um 1.10 um 1.31 um 2.00 MeV 1.754E-01 1.458E-04 32.86 um 1.33 um 1.50 um 2.25 MeV 1.639E-01 1.317E-04 39.19 um 1.64 um 1.74 um 2.50 MeV 1.529E-01 1.202E-04 45.97 um 1.95 um 1.99 um 2.75 MeV 1.439E-01 1.106E-04 53.20 um 2.25 um 2.26 um 3.00 MeV 1.360E-01 1.026E-04 60.87 um 2.54 um 2.54 um 3.25 MeV 1.291E-01 9.566E-05 68.97 um 2.84 um 2.84 um 3.50 MeV 1.229E-01 8.967E-05 77.50 um 3.13 um 3.14 um 3.75 MeV 1.173E-01 8.442E-05 86.43 um 3.43 um 3.46 um 4.00 MeV 1.123E-01 7.979E-05 95.78 um 3.74 um 3.79 um 4.50 MeV 1.037E-01 7.196E-05 115.68 um 4.78 um 4.50 um 5.00 MeV 9.638E-02 6.560E-05 137.17 um 5.77 um 5.24 um 5.50 MeV 9.017E-02 6.032E-05 160.21 um 6.74 um 6.04 um 6.00 MeV 8.481E-02 5.587E-05 184.76 um 7.69 um 6.88 um 6.50 MeV 8.012E-02 5.206E-05 210.82 um 8.65 um 7.76 um 7.00 MeV 7.599E-02 4.876E-05 238.35 um 9.62 um 8.69 um 8.00 MeV 6.901E-02 4.333E-05 297.68 um 12.99 um 10.67 um 9.00 MeV 6.334E-02 3.903E-05 362.67 um 16.16 um 12.82 um 10.00 MeV 5.862E-02 3.555E-05 433.20 um 19.24 um 15.14 um 11.00 MeV 5.463E-02 3.266E-05 509.14 um 22.31 um 17.60 um 12.00 MeV 5.120E-02 3.022E-05 590.39 um 25.39 um 20.23 um 13.00 MeV 4.822E-02 2.814E-05 676.88 um 28.50 um 23.00 um 14.00 MeV 4.561E-02 2.634E-05 768.52 um 31.64 um 25.93 um 15.00 MeV 4.329E-02 2.477E-05 865.23 um 34.83 um 28.99 um 16.00 MeV 4.123E-02 2.338E-05 966.96 um 38.07 um 32.21 um 17.00 MeV 3.937E-02 2.214E-05 1.07 mm 41.35 um 35.56 um 18.00 MeV 3.769E-02 2.104E-05 1.19 mm 44.68 um 39.05 um 20.00 MeV 3.477E-02 1.914E-05 1.42 mm 56.69 um 46.45 um 22.50 MeV 3.175E-02 1.722E-05 1.75 mm 73.82 um 56.46 um 25.00 MeV 2.927E-02 1.567E-05 2.10 mm 90.11 um 67.29 um 27.50 MeV 2.718E-02 1.438E-05 2.48 mm 106.09 um 78.92 um 30.00 MeV 2.540E-02 1.330E-05 2.89 mm 122.01 um 91.32 um 32.50 MeV 2.386E-02 1.237E-05 3.33 mm 138.01 um 104.50 um 35.00 MeV 2.252E-02 1.157E-05 3.79 mm 154.15 um 118.42 um 37.50 MeV 2.133E-02 1.087E-05 4.28 mm 170.48 um 133.08 um 40.00 MeV 2.028E-02 1.026E-05 4.80 mm 187.03 um 148.46 um 45.00 MeV 1.849E-02 9.220E-06 5.91 mm 247.06 um 181.37 um 50.00 MeV 1.702E-02 8.381E-06 7.12 mm 303.70 um 217.06 um 55.00 MeV 1.579E-02 7.687E-06 8.43 mm 359.08 um 255.44 um 60.00 MeV 1.474E-02 7.104E-06 9.84 mm 414.12 um 296.44 um 65.00 MeV 1.385E-02 6.606E-06 11.34 mm 469.31 um 340.01 um 70.00 MeV 1.306E-02 6.176E-06 12.94 mm 524.92 um 386.09 um 80.00 MeV 1.177E-02 5.470E-06 16.41 mm 725.74 um 485.55 um 90.00 MeV 1.073E-02 4.913E-06 20.24 mm 913.06 um 594.44 um 100.00 MeV 9.888E-03 4.464E-06 24.42 mm 1.10 mm 712.37 um 110.00 MeV 9.185E-03 4.092E-06 28.93 mm 1.28 mm 839.03 um 120.00 MeV 8.590E-03 3.780E-06 33.77 mm 1.46 mm 974.11 um 130.00 MeV 8.079E-03 3.513E-06 38.93 mm 1.64 mm 1.12 mm 140.00 MeV 7.636E-03 3.283E-06 44.41 mm 1.83 mm 1.27 mm 150.00 MeV 7.247E-03 3.082E-06 50.19 mm 2.01 mm 1.43 mm 160.00 MeV 6.904E-03 2.905E-06 56.27 mm 2.20 mm 1.59 mm 170.00 MeV 6.598E-03 2.749E-06 62.64 mm 2.39 mm 1.77 mm 180.00 MeV 6.324E-03 2.608E-06 69.30 mm 2.59 mm 1.95 mm 200.00 MeV 5.853E-03 2.368E-06 83.44 mm 3.30 mm 2.33 mm 225.00 MeV 5.374E-03 2.126E-06 102.62 mm 4.30 mm 2.84 mm 250.00 MeV 4.986E-03 1.930E-06 123.40 mm 5.25 mm 3.39 mm 275.00 MeV 4.664E-03 1.768E-06 145.70 mm 6.16 mm 3.97 mm 300.00 MeV 4.393E-03 1.632E-06 169.46 mm 7.06 mm 4.59 mm 325.00 MeV 4.162E-03 1.516E-06 194.61 mm 7.94 mm 5.24 mm 350.00 MeV 3.963E-03 1.416E-06 221.09 mm 8.83 mm 5.91 mm 375.00 MeV 3.788E-03 1.329E-06 248.85 mm 9.71 mm 6.62 mm 400.00 MeV 3.635E-03 1.252E-06 277.83 mm 10.59 mm 7.34 mm 450.00 MeV 3.378E-03 1.124E-06 339.23 mm 13.78 mm 8.87 mm 500.00 MeV 3.171E-03 1.019E-06 404.96 mm 16.72 mm 10.48 mm 550.00 MeV 3.001E-03 9.336E-07 474.71 mm 19.51 mm 12.16 mm 600.00 MeV 2.858E-03 8.615E-07 548.17 mm 22.20 mm 13.91 mm 650.00 MeV 2.738E-03 8.001E-07 625.08 mm 24.83 mm 15.72 mm 700.00 MeV 2.634E-03 7.471E-07 705.19 mm 27.40 mm 17.58 mm 800.00 MeV 2.467E-03 6.603E-07 874.02 mm 36.53 mm 21.43 mm 900.00 MeV 2.337E-03 5.920E-07 1.05 m 44.66 mm 25.42 mm 1.00 GeV 2.234E-03 5.370E-07 1.24 m 52.19 mm 29.51 mm 1.10 GeV 2.151E-03 4.916E-07 1.44 m 59.32 mm 33.68 mm 1.20 GeV 2.083E-03 4.535E-07 1.64 m 66.12 mm 37.92 mm 1.30 GeV 2.026E-03 4.210E-07 1.85 m 72.67 mm 42.19 mm 1.40 GeV 1.978E-03 3.930E-07 2.07 m 78.98 mm 46.48 mm 1.50 GeV 1.938E-03 3.686E-07 2.29 m 85.10 mm 50.79 mm 1.60 GeV 1.903E-03 3.472E-07 2.51 m 91.03 mm 55.10 mm 1.70 GeV 1.873E-03 3.281E-07 2.74 m 96.79 mm 59.41 mm 1.80 GeV 1.847E-03 3.112E-07 2.97 m 102.40 mm 63.70 mm 2.00 GeV 1.805E-03 2.821E-07 3.44 m 122.59 mm 72.24 mm 2.25 GeV 1.766E-03 2.528E-07 4.04 m 149.76 mm 82.76 mm 2.50 GeV 1.737E-03 2.292E-07 4.66 m 173.58 mm 93.08 mm 2.75 GeV 1.716E-03 2.097E-07 5.28 m 195.10 mm 103.18 mm 3.00 GeV 1.700E-03 1.934E-07 5.91 m 214.89 mm 113.05 mm 3.25 GeV 1.688E-03 1.795E-07 6.55 m 233.30 mm 122.67 mm 3.50 GeV 1.680E-03 1.675E-07 7.19 m 250.58 mm 132.06 mm 3.75 GeV 1.674E-03 1.571E-07 7.83 m 266.89 mm 141.22 mm 4.00 GeV 1.669E-03 1.479E-07 8.47 m 282.36 mm 150.15 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 1.5352E+01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler