================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_H_3 Ion = Hydrogen [1] , Mass = 3.01605 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Hydrogen [1] , Mass = 3.01605 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 30.00 keV 3.135E-01 6.145E-03 4584 A 1211 A 1264 A 32.50 keV 3.257E-01 5.816E-03 4883 A 1241 A 1308 A 35.00 keV 3.376E-01 5.524E-03 5174 A 1268 A 1350 A 37.50 keV 3.493E-01 5.263E-03 5456 A 1292 A 1390 A 40.00 keV 3.605E-01 5.029E-03 5732 A 1315 A 1426 A 45.00 keV 3.818E-01 4.624E-03 6263 A 1356 A 1494 A 50.00 keV 4.014E-01 4.286E-03 6771 A 1392 A 1554 A 55.00 keV 4.191E-01 3.999E-03 7260 A 1424 A 1609 A 60.00 keV 4.351E-01 3.751E-03 7733 A 1452 A 1659 A 65.00 keV 4.495E-01 3.536E-03 8192 A 1477 A 1705 A 70.00 keV 4.622E-01 3.346E-03 8639 A 1501 A 1748 A 80.00 keV 4.836E-01 3.027E-03 9507 A 1544 A 1826 A 90.00 keV 5.002E-01 2.769E-03 1.03 um 1582 A 1896 A 100.00 keV 5.129E-01 2.555E-03 1.12 um 1615 A 1960 A 110.00 keV 5.223E-01 2.375E-03 1.20 um 1646 A 2019 A 120.00 keV 5.290E-01 2.220E-03 1.28 um 1674 A 2074 A 130.00 keV 5.337E-01 2.086E-03 1.36 um 1701 A 2126 A 140.00 keV 5.365E-01 1.969E-03 1.43 um 1725 A 2176 A 150.00 keV 5.380E-01 1.865E-03 1.51 um 1749 A 2223 A 160.00 keV 5.383E-01 1.773E-03 1.59 um 1772 A 2269 A 170.00 keV 5.377E-01 1.690E-03 1.67 um 1793 A 2314 A 180.00 keV 5.364E-01 1.615E-03 1.75 um 1815 A 2358 A 200.00 keV 5.320E-01 1.485E-03 1.91 um 1862 A 2442 A 225.00 keV 5.243E-01 1.351E-03 2.11 um 1922 A 2543 A 250.00 keV 5.152E-01 1.241E-03 2.31 um 1981 A 2642 A 275.00 keV 5.055E-01 1.149E-03 2.52 um 2039 A 2739 A 300.00 keV 4.954E-01 1.071E-03 2.73 um 2096 A 2834 A 325.00 keV 4.853E-01 1.003E-03 2.95 um 2153 A 2930 A 350.00 keV 4.753E-01 9.444E-04 3.17 um 2210 A 3025 A 375.00 keV 4.656E-01 8.925E-04 3.40 um 2267 A 3120 A 400.00 keV 4.561E-01 8.463E-04 3.63 um 2325 A 3216 A 450.00 keV 4.383E-01 7.680E-04 4.10 um 2486 A 3409 A 500.00 keV 4.218E-01 7.038E-04 4.60 um 2649 A 3606 A 550.00 keV 4.066E-01 6.502E-04 5.12 um 2812 A 3808 A 600.00 keV 3.926E-01 6.047E-04 5.65 um 2978 A 4013 A 650.00 keV 3.797E-01 5.655E-04 6.21 um 3145 A 4224 A 700.00 keV 3.679E-01 5.315E-04 6.78 um 3314 A 4439 A 800.00 keV 3.467E-01 4.750E-04 7.98 um 3847 A 4885 A 900.00 keV 3.284E-01 4.301E-04 9.25 um 4369 A 5351 A 1.00 MeV 3.124E-01 3.934E-04 10.59 um 4885 A 5836 A 1.10 MeV 2.982E-01 3.628E-04 11.99 um 5398 A 6341 A 1.20 MeV 2.857E-01 3.369E-04 13.46 um 5911 A 6864 A 1.30 MeV 2.744E-01 3.146E-04 14.99 um 6425 A 7405 A 1.40 MeV 2.643E-01 2.953E-04 16.58 um 6940 A 7963 A 1.50 MeV 2.550E-01 2.784E-04 18.23 um 7458 A 8538 A 1.60 MeV 2.466E-01 2.634E-04 19.94 um 7978 A 9129 A 1.70 MeV 2.389E-01 2.500E-04 21.71 um 8502 A 9735 A 1.80 MeV 2.318E-01 2.380E-04 23.54 um 9028 A 1.04 um 2.00 MeV 2.190E-01 2.174E-04 27.34 um 1.08 um 1.16 um 2.25 MeV 2.055E-01 1.963E-04 32.40 um 1.33 um 1.33 um 2.50 MeV 1.940E-01 1.792E-04 37.78 um 1.56 um 1.51 um 2.75 MeV 1.840E-01 1.650E-04 43.46 um 1.79 um 1.69 um 3.00 MeV 1.752E-01 1.530E-04 49.44 um 2.01 um 1.89 um 3.25 MeV 1.675E-01 1.427E-04 55.71 um 2.23 um 2.09 um 3.50 MeV 1.598E-01 1.337E-04 62.27 um 2.45 um 2.29 um 3.75 MeV 1.527E-01 1.259E-04 69.14 um 2.67 um 2.51 um 4.00 MeV 1.466E-01 1.190E-04 76.32 um 2.90 um 2.73 um 4.50 MeV 1.359E-01 1.073E-04 91.54 um 3.68 um 3.19 um 5.00 MeV 1.268E-01 9.785E-05 107.92 um 4.42 um 3.69 um 5.50 MeV 1.190E-01 8.998E-05 125.41 um 5.13 um 4.21 um 6.00 MeV 1.122E-01 8.334E-05 144.01 um 5.84 um 4.76 um 6.50 MeV 1.062E-01 7.766E-05 163.69 um 6.55 um 5.33 um 7.00 MeV 1.010E-01 7.274E-05 184.44 um 7.26 um 5.94 um 8.00 MeV 9.203E-02 6.464E-05 229.03 um 9.77 um 7.22 um 9.00 MeV 8.471E-02 5.823E-05 277.73 um 12.10 um 8.60 um 10.00 MeV 7.859E-02 5.304E-05 330.42 um 14.37 um 10.09 um 11.00 MeV 7.340E-02 4.873E-05 387.03 um 16.62 um 11.67 um 12.00 MeV 6.893E-02 4.510E-05 447.47 um 18.88 um 13.34 um 13.00 MeV 6.503E-02 4.199E-05 511.70 um 21.14 um 15.10 um 14.00 MeV 6.159E-02 3.931E-05 579.64 um 23.43 um 16.95 um 15.00 MeV 5.854E-02 3.696E-05 651.24 um 25.75 um 18.90 um 16.00 MeV 5.582E-02 3.489E-05 726.46 um 28.09 um 20.93 um 17.00 MeV 5.336E-02 3.305E-05 805.24 um 30.47 um 23.04 um 18.00 MeV 5.113E-02 3.140E-05 887.56 um 32.87 um 25.24 um 20.00 MeV 4.725E-02 2.857E-05 1.06 mm 41.63 um 29.89 um 22.50 MeV 4.324E-02 2.571E-05 1.30 mm 54.11 um 36.16 um 25.00 MeV 3.991E-02 2.338E-05 1.56 mm 65.95 um 42.93 um 27.50 MeV 3.711E-02 2.146E-05 1.84 mm 77.54 um 50.18 um 30.00 MeV 3.472E-02 1.985E-05 2.14 mm 89.06 um 57.90 um 32.50 MeV 3.265E-02 1.847E-05 2.46 mm 100.61 um 66.09 um 35.00 MeV 3.083E-02 1.727E-05 2.80 mm 112.25 um 74.73 um 37.50 MeV 2.923E-02 1.623E-05 3.15 mm 124.02 um 83.82 um 40.00 MeV 2.780E-02 1.531E-05 3.53 mm 135.92 um 93.35 um 45.00 MeV 2.537E-02 1.376E-05 4.34 mm 179.44 um 113.72 um 50.00 MeV 2.336E-02 1.251E-05 5.23 mm 220.44 um 135.77 um 55.00 MeV 2.168E-02 1.148E-05 6.18 mm 260.47 um 159.48 um 60.00 MeV 2.025E-02 1.061E-05 7.21 mm 300.23 um 184.79 um 65.00 MeV 1.902E-02 9.862E-06 8.30 mm 340.06 um 211.67 um 70.00 MeV 1.794E-02 9.221E-06 9.47 mm 380.18 um 240.10 um 80.00 MeV 1.615E-02 8.166E-06 12.00 mm 526.09 um 301.48 um 90.00 MeV 1.472E-02 7.336E-06 14.79 mm 662.14 um 368.71 um 100.00 MeV 1.355E-02 6.665E-06 17.83 mm 794.81 um 441.59 um 110.00 MeV 1.258E-02 6.110E-06 21.13 mm 926.69 um 519.96 um 120.00 MeV 1.175E-02 5.644E-06 24.67 mm 1.06 mm 603.66 um 130.00 MeV 1.104E-02 5.246E-06 28.44 mm 1.19 mm 692.54 um 140.00 MeV 1.042E-02 4.902E-06 32.46 mm 1.33 mm 786.48 um 150.00 MeV 9.875E-03 4.603E-06 36.70 mm 1.46 mm 885.33 um 160.00 MeV 9.393E-03 4.339E-06 41.17 mm 1.60 mm 988.99 um 170.00 MeV 8.964E-03 4.105E-06 45.86 mm 1.74 mm 1.10 mm 180.00 MeV 8.578E-03 3.895E-06 50.76 mm 1.88 mm 1.21 mm 200.00 MeV 7.914E-03 3.537E-06 61.21 mm 2.41 mm 1.45 mm 225.00 MeV 7.238E-03 3.175E-06 75.42 mm 3.16 mm 1.77 mm 250.00 MeV 6.688E-03 2.882E-06 90.89 mm 3.86 mm 2.12 mm 275.00 MeV 6.231E-03 2.641E-06 107.55 mm 4.55 mm 2.49 mm 300.00 MeV 5.845E-03 2.438E-06 125.38 mm 5.22 mm 2.89 mm 325.00 MeV 5.515E-03 2.265E-06 144.33 mm 5.90 mm 3.31 mm 350.00 MeV 5.230E-03 2.115E-06 164.36 mm 6.57 mm 3.75 mm 375.00 MeV 4.980E-03 1.985E-06 185.44 mm 7.24 mm 4.21 mm 400.00 MeV 4.759E-03 1.871E-06 207.54 mm 7.92 mm 4.69 mm 450.00 MeV 4.388E-03 1.678E-06 254.64 mm 10.41 mm 5.70 mm 500.00 MeV 4.088E-03 1.523E-06 305.45 mm 12.71 mm 6.78 mm 550.00 MeV 3.840E-03 1.395E-06 359.77 mm 14.91 mm 7.92 mm 600.00 MeV 3.631E-03 1.287E-06 417.41 mm 17.06 mm 9.11 mm 650.00 MeV 3.454E-03 1.195E-06 478.18 mm 19.17 mm 10.36 mm 700.00 MeV 3.301E-03 1.116E-06 541.91 mm 21.26 mm 11.66 mm 800.00 MeV 3.051E-03 9.863E-07 677.57 mm 28.76 mm 14.38 mm 900.00 MeV 2.856E-03 8.844E-07 823.41 mm 35.53 mm 17.26 mm 1.00 GeV 2.699E-03 8.022E-07 978.47 mm 41.88 mm 20.26 mm 1.10 GeV 2.571E-03 7.344E-07 1.14 m 47.98 mm 23.37 mm 1.20 GeV 2.465E-03 6.774E-07 1.31 m 53.88 mm 26.58 mm 1.30 GeV 2.375E-03 6.290E-07 1.49 m 59.62 mm 29.85 mm 1.40 GeV 2.299E-03 5.871E-07 1.68 m 65.22 mm 33.20 mm 1.50 GeV 2.233E-03 5.507E-07 1.87 m 70.71 mm 36.59 mm 1.60 GeV 2.176E-03 5.187E-07 2.06 m 76.08 mm 40.03 mm 1.70 GeV 2.126E-03 4.903E-07 2.26 m 81.35 mm 43.50 mm 1.80 GeV 2.082E-03 4.649E-07 2.47 m 86.52 mm 47.01 mm 2.00 GeV 2.008E-03 4.215E-07 2.89 m 105.36 mm 54.07 mm 2.25 GeV 1.937E-03 3.777E-07 3.43 m 130.96 mm 62.96 mm 2.50 GeV 1.882E-03 3.425E-07 4.00 m 153.68 mm 71.86 mm 2.75 GeV 1.839E-03 3.134E-07 4.57 m 174.45 mm 80.73 mm 3.00 GeV 1.804E-03 2.890E-07 5.17 m 193.78 mm 89.53 mm 3.25 GeV 1.777E-03 2.682E-07 5.77 m 211.94 mm 98.25 mm 3.50 GeV 1.755E-03 2.503E-07 6.38 m 229.14 mm 106.86 mm 3.75 GeV 1.736E-03 2.347E-07 6.99 m 245.51 mm 115.35 mm 4.00 GeV 1.722E-03 2.209E-07 7.62 m 261.15 mm 123.72 mm 4.50 GeV 1.700E-03 1.979E-07 8.87 m 316.60 mm 140.07 mm 5.00 GeV 1.685E-03 1.794E-07 10.15 m 364.69 mm 155.90 mm 5.50 GeV 1.675E-03 1.641E-07 11.43 m 407.73 mm 171.21 mm 6.00 GeV 1.669E-03 1.513E-07 12.72 m 447.02 mm 186.01 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 1.0593E+01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler