================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_He_3 Ion = Helium [2] , Mass = 3.01603 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Helium [2] , Mass = 3.01603 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 30.00 keV 5.161E-01 1.888E-02 2569 A 957 A 904 A 32.50 keV 5.426E-01 1.797E-02 2733 A 982 A 937 A 35.00 keV 5.681E-01 1.716E-02 2892 A 1006 A 968 A 37.50 keV 5.928E-01 1.643E-02 3046 A 1027 A 997 A 40.00 keV 6.167E-01 1.577E-02 3195 A 1047 A 1024 A 45.00 keV 6.622E-01 1.461E-02 3483 A 1082 A 1073 A 50.00 keV 7.050E-01 1.363E-02 3756 A 1112 A 1117 A 55.00 keV 7.454E-01 1.279E-02 4017 A 1138 A 1156 A 60.00 keV 7.835E-01 1.206E-02 4268 A 1161 A 1192 A 65.00 keV 8.196E-01 1.142E-02 4509 A 1182 A 1225 A 70.00 keV 8.538E-01 1.085E-02 4742 A 1200 A 1255 A 80.00 keV 9.169E-01 9.884E-03 5188 A 1233 A 1308 A 90.00 keV 9.738E-01 9.093E-03 5610 A 1260 A 1355 A 100.00 keV 1.025E+00 8.432E-03 6013 A 1284 A 1396 A 110.00 keV 1.072E+00 7.870E-03 6399 A 1305 A 1434 A 120.00 keV 1.114E+00 7.386E-03 6772 A 1323 A 1467 A 130.00 keV 1.152E+00 6.964E-03 7134 A 1339 A 1498 A 140.00 keV 1.186E+00 6.592E-03 7486 A 1354 A 1527 A 150.00 keV 1.217E+00 6.262E-03 7829 A 1368 A 1554 A 160.00 keV 1.246E+00 5.967E-03 8166 A 1380 A 1579 A 170.00 keV 1.271E+00 5.701E-03 8496 A 1392 A 1602 A 180.00 keV 1.294E+00 5.460E-03 8820 A 1403 A 1624 A 200.00 keV 1.333E+00 5.039E-03 9456 A 1424 A 1666 A 225.00 keV 1.372E+00 4.605E-03 1.02 um 1448 A 1712 A 250.00 keV 1.400E+00 4.245E-03 1.10 um 1469 A 1755 A 275.00 keV 1.421E+00 3.942E-03 1.17 um 1489 A 1795 A 300.00 keV 1.436E+00 3.683E-03 1.25 um 1507 A 1832 A 325.00 keV 1.445E+00 3.459E-03 1.32 um 1524 A 1867 A 350.00 keV 1.450E+00 3.262E-03 1.39 um 1541 A 1900 A 375.00 keV 1.452E+00 3.089E-03 1.47 um 1556 A 1932 A 400.00 keV 1.450E+00 2.934E-03 1.54 um 1571 A 1963 A 450.00 keV 1.442E+00 2.671E-03 1.69 um 1606 A 2023 A 500.00 keV 1.426E+00 2.455E-03 1.84 um 1640 A 2080 A 550.00 keV 1.407E+00 2.273E-03 1.99 um 1673 A 2136 A 600.00 keV 1.386E+00 2.118E-03 2.14 um 1706 A 2190 A 650.00 keV 1.362E+00 1.985E-03 2.29 um 1738 A 2244 A 700.00 keV 1.338E+00 1.869E-03 2.45 um 1770 A 2297 A 800.00 keV 1.290E+00 1.675E-03 2.78 um 1863 A 2403 A 900.00 keV 1.242E+00 1.520E-03 3.12 um 1956 A 2509 A 1.00 MeV 1.196E+00 1.393E-03 3.47 um 2051 A 2618 A 1.10 MeV 1.153E+00 1.288E-03 3.83 um 2148 A 2728 A 1.20 MeV 1.113E+00 1.198E-03 4.21 um 2246 A 2841 A 1.30 MeV 1.075E+00 1.120E-03 4.60 um 2347 A 2957 A 1.40 MeV 1.040E+00 1.053E-03 5.01 um 2450 A 3076 A 1.50 MeV 1.007E+00 9.937E-04 5.43 um 2555 A 3198 A 1.60 MeV 9.768E-01 9.412E-04 5.86 um 2662 A 3324 A 1.70 MeV 9.481E-01 8.944E-04 6.30 um 2772 A 3453 A 1.80 MeV 9.213E-01 8.523E-04 6.76 um 2883 A 3585 A 2.00 MeV 8.725E-01 7.796E-04 7.72 um 3255 A 3861 A 2.25 MeV 8.193E-01 7.055E-04 8.99 um 3802 A 4226 A 2.50 MeV 7.731E-01 6.450E-04 10.34 um 4338 A 4612 A 2.75 MeV 7.326E-01 5.947E-04 11.77 um 4870 A 5020 A 3.00 MeV 6.969E-01 5.520E-04 13.27 um 5402 A 5448 A 3.25 MeV 6.650E-01 5.155E-04 14.85 um 5934 A 5897 A 3.50 MeV 6.364E-01 4.837E-04 16.50 um 6469 A 6365 A 3.75 MeV 6.107E-01 4.558E-04 18.22 um 7008 A 6852 A 4.00 MeV 5.873E-01 4.312E-04 20.01 um 7551 A 7358 A 4.50 MeV 5.464E-01 3.895E-04 23.81 um 9442 A 8422 A 5.00 MeV 5.117E-01 3.556E-04 27.87 um 1.12 um 9556 A 5.50 MeV 4.820E-01 3.274E-04 32.20 um 1.30 um 1.08 um 6.00 MeV 4.561E-01 3.036E-04 36.78 um 1.47 um 1.20 um 6.50 MeV 4.332E-01 2.831E-04 41.62 um 1.64 um 1.33 um 7.00 MeV 4.104E-01 2.654E-04 46.71 um 1.81 um 1.47 um 8.00 MeV 3.724E-01 2.362E-04 57.71 um 2.43 um 1.77 um 9.00 MeV 3.426E-01 2.131E-04 69.75 um 3.00 um 2.09 um 10.00 MeV 3.177E-01 1.943E-04 82.79 um 3.56 um 2.44 um 11.00 MeV 2.966E-01 1.787E-04 96.80 um 4.12 um 2.80 um 12.00 MeV 2.784E-01 1.655E-04 111.76 um 4.68 um 3.20 um 13.00 MeV 2.625E-01 1.542E-04 127.67 um 5.24 um 3.61 um 14.00 MeV 2.486E-01 1.445E-04 144.50 um 5.81 um 4.05 um 15.00 MeV 2.362E-01 1.359E-04 162.25 um 6.38 um 4.50 um 16.00 MeV 2.252E-01 1.284E-04 180.90 um 6.96 um 4.98 um 17.00 MeV 2.152E-01 1.217E-04 200.43 um 7.55 um 5.48 um 18.00 MeV 2.062E-01 1.157E-04 220.85 um 8.15 um 6.00 um 20.00 MeV 1.905E-01 1.054E-04 264.27 um 10.32 um 7.10 um 22.50 MeV 1.742E-01 9.490E-05 323.31 um 13.42 um 8.58 um 25.00 MeV 1.607E-01 8.641E-05 387.58 um 16.36 um 10.18 um 27.50 MeV 1.494E-01 7.938E-05 456.98 um 19.24 um 11.90 um 30.00 MeV 1.398E-01 7.345E-05 531.40 um 22.11 um 13.74 um 32.50 MeV 1.314E-01 6.838E-05 610.77 um 24.98 um 15.68 um 35.00 MeV 1.240E-01 6.400E-05 695.02 um 27.88 um 17.74 um 37.50 MeV 1.176E-01 6.017E-05 784.08 um 30.80 um 19.90 um 40.00 MeV 1.118E-01 5.679E-05 877.88 um 33.77 um 22.17 um 45.00 MeV 1.020E-01 5.110E-05 1.08 mm 44.60 um 27.02 um 50.00 MeV 9.390E-02 4.649E-05 1.30 mm 54.81 um 32.28 um 55.00 MeV 8.713E-02 4.267E-05 1.54 mm 64.78 um 37.94 um 60.00 MeV 8.137E-02 3.946E-05 1.79 mm 74.68 um 43.98 um 65.00 MeV 7.640E-02 3.671E-05 2.07 mm 84.60 um 50.41 um 70.00 MeV 7.207E-02 3.434E-05 2.36 mm 94.59 um 57.21 um 80.00 MeV 6.486E-02 3.044E-05 2.98 mm 130.95 um 71.89 um 90.00 MeV 5.911E-02 2.737E-05 3.68 mm 164.86 um 88.00 um 100.00 MeV 5.441E-02 2.488E-05 4.44 mm 197.93 um 105.47 um 110.00 MeV 5.048E-02 2.283E-05 5.26 mm 230.81 um 124.26 um 120.00 MeV 4.715E-02 2.109E-05 6.14 mm 263.81 um 144.35 um 130.00 MeV 4.428E-02 1.962E-05 7.08 mm 297.08 um 165.69 um 140.00 MeV 4.179E-02 1.834E-05 8.08 mm 330.73 um 188.25 um 150.00 MeV 3.961E-02 1.723E-05 9.14 mm 364.79 um 212.00 um 160.00 MeV 3.768E-02 1.625E-05 10.26 mm 399.29 um 236.92 um 170.00 MeV 3.595E-02 1.537E-05 11.42 mm 434.24 um 262.97 um 180.00 MeV 3.440E-02 1.459E-05 12.65 mm 469.64 um 290.14 um 200.00 MeV 3.173E-02 1.326E-05 15.25 mm 601.00 um 347.73 um 225.00 MeV 2.902E-02 1.191E-05 18.80 mm 787.75 um 425.57 um 250.00 MeV 2.681E-02 1.082E-05 22.66 mm 963.52 um 509.59 um 275.00 MeV 2.498E-02 9.917E-06 26.82 mm 1.13 mm 599.49 um 300.00 MeV 2.343E-02 9.159E-06 31.26 mm 1.30 mm 695.00 um 325.00 MeV 2.210E-02 8.512E-06 35.99 mm 1.47 mm 795.85 um 350.00 MeV 2.096E-02 7.954E-06 40.99 mm 1.64 mm 901.80 um 375.00 MeV 1.995E-02 7.467E-06 46.25 mm 1.81 mm 1.01 mm 400.00 MeV 1.907E-02 7.039E-06 51.77 mm 1.98 mm 1.13 mm 450.00 MeV 1.758E-02 6.318E-06 63.52 mm 2.60 mm 1.37 mm 500.00 MeV 1.638E-02 5.736E-06 76.21 mm 3.17 mm 1.63 mm 550.00 MeV 1.538E-02 5.256E-06 89.77 mm 3.72 mm 1.91 mm 600.00 MeV 1.455E-02 4.852E-06 104.16 mm 4.26 mm 2.20 mm 650.00 MeV 1.383E-02 4.508E-06 119.33 mm 4.79 mm 2.50 mm 700.00 MeV 1.322E-02 4.211E-06 135.24 mm 5.31 mm 2.81 mm 800.00 MeV 1.222E-02 3.724E-06 169.12 mm 7.18 mm 3.47 mm 900.00 MeV 1.144E-02 3.341E-06 205.54 mm 8.87 mm 4.17 mm 1.00 GeV 1.081E-02 3.031E-06 244.26 mm 10.46 mm 4.90 mm 1.10 GeV 1.030E-02 2.776E-06 285.07 mm 11.98 mm 5.65 mm 1.20 GeV 9.869E-03 2.562E-06 327.78 mm 13.45 mm 6.43 mm 1.30 GeV 9.510E-03 2.379E-06 372.22 mm 14.89 mm 7.22 mm 1.40 GeV 9.203E-03 2.222E-06 418.24 mm 16.29 mm 8.03 mm 1.50 GeV 8.939E-03 2.085E-06 465.70 mm 17.66 mm 8.86 mm 1.60 GeV 8.710E-03 1.964E-06 514.49 mm 19.00 mm 9.69 mm 1.70 GeV 8.510E-03 1.857E-06 564.50 mm 20.32 mm 10.54 mm 1.80 GeV 8.334E-03 1.761E-06 615.62 mm 21.61 mm 11.39 mm 2.00 GeV 8.039E-03 1.597E-06 720.83 mm 26.32 mm 13.10 mm 2.25 GeV 7.753E-03 1.432E-06 857.18 mm 32.71 mm 15.26 mm 2.50 GeV 7.533E-03 1.299E-06 998.04 mm 38.39 mm 17.42 mm 2.75 GeV 7.360E-03 1.189E-06 1.14 m 43.58 mm 19.58 mm 3.00 GeV 7.222E-03 1.097E-06 1.29 m 48.41 mm 21.72 mm 3.25 GeV 7.112E-03 1.018E-06 1.44 m 52.95 mm 23.84 mm 3.50 GeV 7.023E-03 9.505E-07 1.59 m 57.25 mm 25.93 mm 3.75 GeV 6.950E-03 8.914E-07 1.75 m 61.34 mm 28.00 mm 4.00 GeV 6.890E-03 8.395E-07 1.90 m 65.25 mm 30.03 mm 4.50 GeV 6.802E-03 7.524E-07 2.22 m 79.10 mm 34.01 mm 5.00 GeV 6.742E-03 6.821E-07 2.53 m 91.12 mm 37.87 mm 5.50 GeV 6.704E-03 6.242E-07 2.86 m 101.88 mm 41.59 mm 6.00 GeV 6.680E-03 5.756E-07 3.18 m 111.70 mm 45.20 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 5.5205E+00 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler