================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_He_6 Ion = Helium [2] , Mass = 6.01889 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Helium [2] , Mass = 6.01889 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 60.00 keV 5.168E-01 2.336E-02 5571 A 1573 A 1590 A 65.00 keV 5.433E-01 2.213E-02 5917 A 1612 A 1647 A 70.00 keV 5.689E-01 2.104E-02 6252 A 1648 A 1700 A 80.00 keV 6.175E-01 1.919E-02 6888 A 1710 A 1795 A 90.00 keV 6.631E-01 1.767E-02 7488 A 1762 A 1877 A 100.00 keV 7.060E-01 1.639E-02 8056 A 1807 A 1949 A 110.00 keV 7.464E-01 1.531E-02 8598 A 1845 A 2014 A 120.00 keV 7.845E-01 1.438E-02 9116 A 1879 A 2072 A 130.00 keV 8.206E-01 1.356E-02 9614 A 1909 A 2125 A 140.00 keV 8.548E-01 1.284E-02 1.01 um 1936 A 2173 A 150.00 keV 8.872E-01 1.221E-02 1.06 um 1960 A 2218 A 160.00 keV 9.179E-01 1.163E-02 1.10 um 1982 A 2259 A 170.00 keV 9.471E-01 1.112E-02 1.14 um 2002 A 2297 A 180.00 keV 9.749E-01 1.065E-02 1.19 um 2020 A 2333 A 200.00 keV 1.026E+00 9.837E-03 1.27 um 2055 A 2398 A 225.00 keV 1.084E+00 8.994E-03 1.37 um 2092 A 2470 A 250.00 keV 1.134E+00 8.295E-03 1.46 um 2125 A 2533 A 275.00 keV 1.179E+00 7.707E-03 1.55 um 2153 A 2590 A 300.00 keV 1.218E+00 7.203E-03 1.64 um 2178 A 2641 A 325.00 keV 1.253E+00 6.766E-03 1.72 um 2201 A 2688 A 350.00 keV 1.284E+00 6.384E-03 1.81 um 2222 A 2731 A 375.00 keV 1.310E+00 6.047E-03 1.89 um 2241 A 2772 A 400.00 keV 1.334E+00 5.746E-03 1.97 um 2258 A 2810 A 450.00 keV 1.372E+00 5.233E-03 2.12 um 2296 A 2880 A 500.00 keV 1.401E+00 4.810E-03 2.28 um 2330 A 2943 A 550.00 keV 1.422E+00 4.456E-03 2.43 um 2361 A 3002 A 600.00 keV 1.436E+00 4.154E-03 2.58 um 2389 A 3056 A 650.00 keV 1.445E+00 3.893E-03 2.72 um 2417 A 3107 A 700.00 keV 1.450E+00 3.666E-03 2.87 um 2443 A 3156 A 800.00 keV 1.450E+00 3.287E-03 3.16 um 2509 A 3248 A 900.00 keV 1.441E+00 2.985E-03 3.46 um 2572 A 3334 A 1.00 MeV 1.426E+00 2.737E-03 3.76 um 2633 A 3417 A 1.10 MeV 1.407E+00 2.529E-03 4.06 um 2693 A 3496 A 1.20 MeV 1.385E+00 2.353E-03 4.37 um 2752 A 3574 A 1.30 MeV 1.362E+00 2.202E-03 4.68 um 2812 A 3650 A 1.40 MeV 1.338E+00 2.070E-03 5.00 um 2871 A 3726 A 1.50 MeV 1.313E+00 1.954E-03 5.32 um 2930 A 3801 A 1.60 MeV 1.289E+00 1.851E-03 5.65 um 2990 A 3877 A 1.70 MeV 1.265E+00 1.759E-03 5.99 um 3051 A 3952 A 1.80 MeV 1.241E+00 1.676E-03 6.33 um 3112 A 4028 A 2.00 MeV 1.195E+00 1.534E-03 7.03 um 3313 A 4181 A 2.25 MeV 1.142E+00 1.388E-03 7.95 um 3612 A 4376 A 2.50 MeV 1.093E+00 1.270E-03 8.91 um 3913 A 4578 A 2.75 MeV 1.048E+00 1.171E-03 9.91 um 4216 A 4786 A 3.00 MeV 1.006E+00 1.087E-03 10.96 um 4522 A 5002 A 3.25 MeV 9.684E-01 1.015E-03 12.05 um 4831 A 5225 A 3.50 MeV 9.335E-01 9.527E-04 13.18 um 5144 A 5456 A 3.75 MeV 9.013E-01 8.980E-04 14.35 um 5460 A 5695 A 4.00 MeV 8.715E-01 8.495E-04 15.56 um 5780 A 5942 A 4.50 MeV 8.183E-01 7.676E-04 18.11 um 6915 A 6461 A 5.00 MeV 7.721E-01 7.009E-04 20.81 um 8008 A 7013 A 5.50 MeV 7.317E-01 6.454E-04 23.67 um 9077 A 7595 A 6.00 MeV 6.960E-01 5.985E-04 26.68 um 1.01 um 8209 A 6.50 MeV 6.641E-01 5.583E-04 29.85 um 1.12 um 8852 A 7.00 MeV 6.356E-01 5.235E-04 33.16 um 1.22 um 9524 A 8.00 MeV 5.865E-01 4.659E-04 40.20 um 1.60 um 1.10 um 9.00 MeV 5.456E-01 4.204E-04 47.81 um 1.95 um 1.25 um 10.00 MeV 5.110E-01 3.833E-04 55.95 um 2.28 um 1.41 um 11.00 MeV 4.813E-01 3.526E-04 64.63 um 2.61 um 1.59 um 12.00 MeV 4.555E-01 3.267E-04 73.82 um 2.94 um 1.77 um 13.00 MeV 4.326E-01 3.045E-04 83.51 um 3.27 um 1.96 um 14.00 MeV 4.097E-01 2.852E-04 93.73 um 3.60 um 2.16 um 15.00 MeV 3.891E-01 2.684E-04 104.50 um 3.93 um 2.37 um 16.00 MeV 3.719E-01 2.535E-04 115.82 um 4.27 um 2.59 um 17.00 MeV 3.563E-01 2.403E-04 127.64 um 4.62 um 2.82 um 18.00 MeV 3.421E-01 2.284E-04 139.96 um 4.96 um 3.05 um 20.00 MeV 3.172E-01 2.081E-04 166.09 um 6.24 um 3.55 um 22.50 MeV 2.913E-01 1.875E-04 201.49 um 8.07 um 4.23 um 25.00 MeV 2.698E-01 1.707E-04 239.87 um 9.80 um 4.95 um 27.50 MeV 2.515E-01 1.568E-04 281.17 um 11.48 um 5.72 um 30.00 MeV 2.358E-01 1.451E-04 325.35 um 13.15 um 6.54 um 32.50 MeV 2.222E-01 1.351E-04 372.35 um 14.81 um 7.41 um 35.00 MeV 2.102E-01 1.265E-04 422.13 um 16.49 um 8.33 um 37.50 MeV 1.996E-01 1.189E-04 474.66 um 18.18 um 9.29 um 40.00 MeV 1.901E-01 1.122E-04 529.88 um 19.88 um 10.29 um 45.00 MeV 1.739E-01 1.010E-04 648.25 um 26.17 um 12.44 um 50.00 MeV 1.605E-01 9.190E-05 777.08 um 32.08 um 14.75 um 55.00 MeV 1.492E-01 8.437E-05 916.19 um 37.83 um 17.24 um 60.00 MeV 1.395E-01 7.802E-05 1.07 mm 43.53 um 19.89 um 65.00 MeV 1.312E-01 7.260E-05 1.22 mm 49.23 um 22.69 um 70.00 MeV 1.238E-01 6.791E-05 1.39 mm 54.96 um 25.66 um 80.00 MeV 1.116E-01 6.021E-05 1.76 mm 75.97 um 32.06 um 90.00 MeV 1.018E-01 5.414E-05 2.16 mm 95.52 um 39.06 um 100.00 MeV 9.374E-02 4.922E-05 2.60 mm 114.56 um 46.65 um 110.00 MeV 8.698E-02 4.516E-05 3.08 mm 133.49 um 54.81 um 120.00 MeV 8.123E-02 4.173E-05 3.59 mm 152.47 um 63.52 um 130.00 MeV 7.627E-02 3.881E-05 4.14 mm 171.62 um 72.79 um 140.00 MeV 7.194E-02 3.629E-05 4.72 mm 190.98 um 82.59 um 150.00 MeV 6.813E-02 3.409E-05 5.34 mm 210.59 um 92.91 um 160.00 MeV 6.475E-02 3.215E-05 5.98 mm 230.48 um 103.75 um 170.00 MeV 6.173E-02 3.043E-05 6.67 mm 250.64 um 115.10 um 180.00 MeV 5.901E-02 2.888E-05 7.38 mm 271.08 um 126.95 um 200.00 MeV 5.431E-02 2.624E-05 8.90 mm 347.78 um 152.12 um 225.00 MeV 4.951E-02 2.358E-05 10.98 mm 457.24 um 186.26 um 250.00 MeV 4.559E-02 2.142E-05 13.24 mm 560.58 um 223.28 um 275.00 MeV 4.231E-02 1.963E-05 15.69 mm 661.47 um 263.08 um 300.00 MeV 3.954E-02 1.813E-05 18.32 mm 761.54 um 305.58 um 325.00 MeV 3.716E-02 1.685E-05 21.13 mm 861.62 um 350.68 um 350.00 MeV 3.510E-02 1.575E-05 24.11 mm 962.15 um 398.33 um 375.00 MeV 3.328E-02 1.479E-05 27.26 mm 1.06 mm 448.44 um 400.00 MeV 3.168E-02 1.394E-05 30.58 mm 1.17 mm 500.96 um 450.00 MeV 2.897E-02 1.251E-05 37.68 mm 1.55 mm 612.97 um 500.00 MeV 2.677E-02 1.136E-05 45.41 mm 1.90 mm 733.87 um 550.00 MeV 2.494E-02 1.041E-05 53.75 mm 2.24 mm 863.23 um 600.00 MeV 2.339E-02 9.610E-06 62.66 mm 2.58 mm 1.00 mm 650.00 MeV 2.207E-02 8.929E-06 72.14 mm 2.92 mm 1.15 mm 700.00 MeV 2.092E-02 8.341E-06 82.16 mm 3.25 mm 1.30 mm 800.00 MeV 1.904E-02 7.377E-06 103.73 mm 4.47 mm 1.62 mm 900.00 MeV 1.756E-02 6.619E-06 127.29 mm 5.59 mm 1.97 mm 1.00 GeV 1.635E-02 6.006E-06 152.71 mm 6.67 mm 2.35 mm 1.10 GeV 1.536E-02 5.501E-06 179.88 mm 7.71 mm 2.75 mm 1.20 GeV 1.453E-02 5.077E-06 208.71 mm 8.74 mm 3.16 mm 1.30 GeV 1.382E-02 4.715E-06 239.11 mm 9.76 mm 3.60 mm 1.40 GeV 1.320E-02 4.403E-06 270.99 mm 10.78 mm 4.05 mm 1.50 GeV 1.267E-02 4.131E-06 304.28 mm 11.78 mm 4.52 mm 1.60 GeV 1.220E-02 3.892E-06 338.91 mm 12.78 mm 5.00 mm 1.70 GeV 1.179E-02 3.680E-06 374.81 mm 13.78 mm 5.49 mm 1.80 GeV 1.142E-02 3.490E-06 411.92 mm 14.77 mm 6.00 mm 2.00 GeV 1.080E-02 3.166E-06 489.48 mm 18.45 mm 7.04 mm 2.25 GeV 1.017E-02 2.839E-06 592.23 mm 23.54 mm 8.40 mm 2.50 GeV 9.672E-03 2.575E-06 700.79 mm 28.16 mm 9.81 mm 2.75 GeV 9.266E-03 2.357E-06 814.52 mm 32.48 mm 11.26 mm 3.00 GeV 8.931E-03 2.174E-06 932.88 mm 36.60 mm 12.74 mm 3.25 GeV 8.650E-03 2.019E-06 1.06 m 40.55 mm 14.24 mm 3.50 GeV 8.412E-03 1.884E-06 1.18 m 44.37 mm 15.76 mm 3.75 GeV 8.209E-03 1.767E-06 1.31 m 48.06 mm 17.29 mm 4.00 GeV 8.034E-03 1.665E-06 1.44 m 51.65 mm 18.84 mm 4.50 GeV 7.748E-03 1.492E-06 1.72 m 64.59 mm 21.94 mm 5.00 GeV 7.529E-03 1.353E-06 2.00 m 76.01 mm 25.05 mm 5.50 GeV 7.356E-03 1.238E-06 2.29 m 86.43 mm 28.15 mm 6.00 GeV 7.219E-03 1.141E-06 2.58 m 96.10 mm 31.22 mm 6.50 GeV 7.109E-03 1.059E-06 2.88 m 105.18 mm 34.27 mm 7.00 GeV 7.020E-03 9.887E-07 3.19 m 113.77 mm 37.28 mm 8.00 GeV 6.888E-03 8.730E-07 3.81 m 143.75 mm 43.18 mm 9.00 GeV 6.800E-03 7.821E-07 4.44 m 169.22 mm 48.90 mm 10.00 GeV 6.741E-03 7.089E-07 5.07 m 191.79 mm 54.44 mm 11.00 GeV 6.703E-03 6.485E-07 5.71 m 212.25 mm 59.80 mm 12.00 GeV 6.680E-03 5.979E-07 6.36 m 231.07 mm 64.98 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 3.0334E+00 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler