================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_N_14 Ion = Nitrogen [7] , Mass = 14.0031 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Nitrogen [7] , Mass = 14.0031 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 140.00 keV 1.524E+00 2.178E-01 3337 A 901 A 830 A 150.00 keV 1.563E+00 2.090E-01 3556 A 933 A 867 A 160.00 keV 1.602E+00 2.010E-01 3771 A 963 A 904 A 170.00 keV 1.643E+00 1.937E-01 3984 A 992 A 939 A 180.00 keV 1.685E+00 1.869E-01 4194 A 1019 A 973 A 200.00 keV 1.771E+00 1.750E-01 4604 A 1070 A 1038 A 225.00 keV 1.884E+00 1.623E-01 5098 A 1127 A 1113 A 250.00 keV 2.001E+00 1.515E-01 5571 A 1177 A 1181 A 275.00 keV 2.120E+00 1.423E-01 6024 A 1221 A 1244 A 300.00 keV 2.241E+00 1.342E-01 6457 A 1260 A 1302 A 325.00 keV 2.361E+00 1.271E-01 6872 A 1295 A 1355 A 350.00 keV 2.482E+00 1.208E-01 7270 A 1326 A 1404 A 375.00 keV 2.601E+00 1.152E-01 7653 A 1355 A 1449 A 400.00 keV 2.718E+00 1.102E-01 8022 A 1380 A 1491 A 450.00 keV 2.947E+00 1.014E-01 8720 A 1426 A 1566 A 500.00 keV 3.165E+00 9.409E-02 9374 A 1464 A 1632 A 550.00 keV 3.372E+00 8.786E-02 9991 A 1497 A 1690 A 600.00 keV 3.566E+00 8.248E-02 1.06 um 1525 A 1741 A 650.00 keV 3.748E+00 7.780E-02 1.11 um 1550 A 1788 A 700.00 keV 3.917E+00 7.367E-02 1.17 um 1572 A 1830 A 800.00 keV 4.222E+00 6.672E-02 1.27 um 1613 A 1904 A 900.00 keV 4.485E+00 6.108E-02 1.36 um 1647 A 1967 A 1.00 MeV 4.710E+00 5.640E-02 1.45 um 1676 A 2022 A 1.10 MeV 4.902E+00 5.245E-02 1.54 um 1701 A 2071 A 1.20 MeV 5.067E+00 4.906E-02 1.63 um 1724 A 2116 A 1.30 MeV 5.208E+00 4.612E-02 1.71 um 1744 A 2156 A 1.40 MeV 5.329E+00 4.355E-02 1.79 um 1763 A 2193 A 1.50 MeV 5.433E+00 4.127E-02 1.87 um 1781 A 2228 A 1.60 MeV 5.521E+00 3.924E-02 1.94 um 1797 A 2261 A 1.70 MeV 5.598E+00 3.742E-02 2.02 um 1812 A 2291 A 1.80 MeV 5.663E+00 3.577E-02 2.09 um 1826 A 2320 A 2.00 MeV 5.768E+00 3.291E-02 2.24 um 1859 A 2374 A 2.25 MeV 5.862E+00 2.997E-02 2.43 um 1900 A 2436 A 2.50 MeV 5.927E+00 2.755E-02 2.61 um 1938 A 2492 A 2.75 MeV 5.971E+00 2.552E-02 2.79 um 1974 A 2544 A 3.00 MeV 6.000E+00 2.379E-02 2.96 um 2008 A 2594 A 3.25 MeV 6.019E+00 2.229E-02 3.14 um 2040 A 2641 A 3.50 MeV 6.030E+00 2.099E-02 3.32 um 2071 A 2686 A 3.75 MeV 6.035E+00 1.984E-02 3.50 um 2101 A 2729 A 4.00 MeV 6.036E+00 1.882E-02 3.67 um 2131 A 2770 A 4.50 MeV 6.030E+00 1.709E-02 4.03 um 2216 A 2849 A 5.00 MeV 6.016E+00 1.566E-02 4.38 um 2297 A 2925 A 5.50 MeV 5.997E+00 1.448E-02 4.74 um 2376 A 2997 A 6.00 MeV 5.975E+00 1.347E-02 5.10 um 2452 A 3067 A 6.50 MeV 5.951E+00 1.260E-02 5.46 um 2525 A 3134 A 7.00 MeV 5.925E+00 1.184E-02 5.82 um 2597 A 3200 A 8.00 MeV 5.872E+00 1.059E-02 6.55 um 2830 A 3328 A 9.00 MeV 5.816E+00 9.592E-03 7.28 um 3049 A 3452 A 10.00 MeV 5.758E+00 8.776E-03 8.02 um 3256 A 3572 A 11.00 MeV 5.699E+00 8.096E-03 8.77 um 3455 A 3689 A 12.00 MeV 5.639E+00 7.520E-03 9.53 um 3646 A 3805 A 13.00 MeV 5.578E+00 7.025E-03 10.30 um 3832 A 3919 A 14.00 MeV 5.516E+00 6.595E-03 11.07 um 4012 A 4032 A 15.00 MeV 5.455E+00 6.218E-03 11.86 um 4188 A 4144 A 16.00 MeV 5.393E+00 5.884E-03 12.65 um 4361 A 4255 A 17.00 MeV 5.331E+00 5.586E-03 13.45 um 4532 A 4366 A 18.00 MeV 5.269E+00 5.319E-03 14.26 um 4699 A 4476 A 20.00 MeV 5.146E+00 4.859E-03 15.91 um 5293 A 4697 A 22.50 MeV 4.995E+00 4.390E-03 18.03 um 6134 A 4972 A 25.00 MeV 4.848E+00 4.008E-03 20.22 um 6917 A 5250 A 27.50 MeV 4.705E+00 3.690E-03 22.47 um 7661 A 5529 A 30.00 MeV 4.567E+00 3.422E-03 24.79 um 8379 A 5812 A 32.50 MeV 4.406E+00 3.192E-03 27.19 um 9083 A 6100 A 35.00 MeV 4.249E+00 2.993E-03 29.68 um 9785 A 6395 A 37.50 MeV 4.115E+00 2.818E-03 32.25 um 1.05 um 6696 A 40.00 MeV 3.987E+00 2.664E-03 34.91 um 1.12 um 7004 A 45.00 MeV 3.751E+00 2.403E-03 40.47 um 1.38 um 7642 A 50.00 MeV 3.538E+00 2.192E-03 46.38 um 1.62 um 8311 A 55.00 MeV 3.346E+00 2.016E-03 52.64 um 1.85 um 9012 A 60.00 MeV 3.172E+00 1.867E-03 59.25 um 2.08 um 9747 A 65.00 MeV 3.014E+00 1.740E-03 66.21 um 2.31 um 1.05 um 70.00 MeV 2.870E+00 1.630E-03 73.53 um 2.54 um 1.13 um 80.00 MeV 2.620E+00 1.449E-03 89.23 um 3.39 um 1.30 um 90.00 MeV 2.409E+00 1.306E-03 106.38 um 4.18 um 1.49 um 100.00 MeV 2.230E+00 1.189E-03 124.96 um 4.96 um 1.69 um 110.00 MeV 2.077E+00 1.093E-03 144.97 um 5.72 um 1.91 um 120.00 MeV 1.944E+00 1.012E-03 166.40 um 6.50 um 2.13 um 130.00 MeV 1.828E+00 9.421E-04 189.25 um 7.27 um 2.38 um 140.00 MeV 1.726E+00 8.820E-04 213.49 um 8.06 um 2.64 um 150.00 MeV 1.636E+00 8.294E-04 239.12 um 8.86 um 2.91 um 160.00 MeV 1.556E+00 7.830E-04 266.11 um 9.67 um 3.19 um 170.00 MeV 1.484E+00 7.417E-04 294.45 um 10.49 um 3.49 um 180.00 MeV 1.419E+00 7.048E-04 324.14 um 11.33 um 3.81 um 200.00 MeV 1.306E+00 6.414E-04 387.42 um 14.48 um 4.47 um 225.00 MeV 1.190E+00 5.772E-04 473.79 um 19.01 um 5.38 um 250.00 MeV 1.096E+00 5.251E-04 568.07 um 23.28 um 6.37 um 275.00 MeV 1.016E+00 4.821E-04 670.12 um 27.46 um 7.43 um 300.00 MeV 9.486E-01 4.458E-04 779.80 um 31.61 um 8.56 um 325.00 MeV 8.902E-01 4.148E-04 896.97 um 35.76 um 9.77 um 350.00 MeV 8.393E-01 3.880E-04 1.02 mm 39.95 um 11.05 um 375.00 MeV 7.945E-01 3.646E-04 1.15 mm 44.17 um 12.41 um 400.00 MeV 7.548E-01 3.440E-04 1.29 mm 48.44 um 13.83 um 450.00 MeV 6.874E-01 3.093E-04 1.59 mm 64.48 um 16.88 um 500.00 MeV 6.322E-01 2.812E-04 1.92 mm 79.51 um 20.19 um 550.00 MeV 5.862E-01 2.580E-04 2.27 mm 94.13 um 23.76 um 600.00 MeV 5.473E-01 2.384E-04 2.65 mm 108.62 um 27.58 um 650.00 MeV 5.138E-01 2.217E-04 3.06 mm 123.09 um 31.64 um 700.00 MeV 4.847E-01 2.073E-04 3.49 mm 137.63 um 35.94 um 800.00 MeV 4.367E-01 1.836E-04 4.43 mm 191.45 um 45.24 um 900.00 MeV 3.985E-01 1.650E-04 5.46 mm 241.28 um 55.42 um 1.00 GeV 3.675E-01 1.499E-04 6.58 mm 289.57 um 66.44 um 1.10 GeV 3.417E-01 1.374E-04 7.80 mm 337.31 um 78.27 um 1.20 GeV 3.200E-01 1.270E-04 9.10 mm 384.93 um 90.88 um 1.30 GeV 3.013E-01 1.180E-04 10.49 mm 432.68 um 104.24 um 1.40 GeV 2.852E-01 1.103E-04 11.96 mm 480.66 um 118.31 um 1.50 GeV 2.711E-01 1.036E-04 13.51 mm 528.95 um 133.08 um 1.60 GeV 2.587E-01 9.764E-05 15.13 mm 577.56 um 148.50 um 1.70 GeV 2.476E-01 9.237E-05 16.84 mm 626.50 um 164.57 um 1.80 GeV 2.378E-01 8.767E-05 18.61 mm 675.78 um 181.25 um 2.00 GeV 2.208E-01 7.961E-05 22.37 mm 861.57 um 216.38 um 2.25 GeV 2.037E-01 7.147E-05 27.45 mm 1.12 mm 263.40 um 2.50 GeV 1.898E-01 6.488E-05 32.93 mm 1.37 mm 313.57 um 2.75 GeV 1.784E-01 5.945E-05 38.78 mm 1.60 mm 366.63 um 3.00 GeV 1.688E-01 5.488E-05 44.99 mm 1.83 mm 422.34 um 3.25 GeV 1.606E-01 5.099E-05 51.53 mm 2.05 mm 480.49 um 3.50 GeV 1.536E-01 4.763E-05 58.38 mm 2.27 mm 540.86 um 3.75 GeV 1.475E-01 4.471E-05 65.53 mm 2.49 mm 603.28 um 4.00 GeV 1.422E-01 4.213E-05 72.97 mm 2.70 mm 667.57 um 4.50 GeV 1.333E-01 3.780E-05 88.61 mm 3.50 mm 801.25 um 5.00 GeV 1.261E-01 3.430E-05 105.23 mm 4.22 mm 940.76 um 5.50 GeV 1.203E-01 3.141E-05 122.71 mm 4.90 mm 1.09 mm 6.00 GeV 1.155E-01 2.899E-05 140.98 mm 5.54 mm 1.23 mm 6.50 GeV 1.114E-01 2.693E-05 159.97 mm 6.16 mm 1.39 mm 7.00 GeV 1.080E-01 2.514E-05 179.61 mm 6.76 mm 1.54 mm 8.00 GeV 1.024E-01 2.223E-05 220.57 mm 8.92 mm 1.86 mm 9.00 GeV 9.821E-02 1.993E-05 263.53 mm 10.80 mm 2.18 mm 10.00 GeV 9.492E-02 1.808E-05 308.15 mm 12.52 mm 2.50 mm 11.00 GeV 9.231E-02 1.655E-05 354.16 mm 14.12 mm 2.83 mm 12.00 GeV 9.021E-02 1.527E-05 401.37 mm 15.62 mm 3.16 mm 13.00 GeV 8.850E-02 1.418E-05 449.58 mm 17.05 mm 3.48 mm 14.00 GeV 8.709E-02 1.324E-05 498.64 mm 18.42 mm 3.81 mm 15.00 GeV 8.592E-02 1.241E-05 548.44 mm 19.73 mm 4.13 mm 16.00 GeV 8.494E-02 1.169E-05 598.86 mm 20.99 mm 4.45 mm 17.00 GeV 8.413E-02 1.105E-05 649.81 mm 22.20 mm 4.76 mm 18.00 GeV 8.344E-02 1.048E-05 701.23 mm 23.37 mm 5.07 mm 20.00 GeV 8.237E-02 9.504E-06 805.15 mm 27.62 mm 5.69 mm 22.50 GeV 8.146E-02 8.518E-06 936.62 mm 33.31 mm 6.43 mm 25.00 GeV 8.087E-02 7.723E-06 1.07 m 38.25 mm 7.15 mm 27.50 GeV 8.051E-02 7.067E-06 1.20 m 42.67 mm 7.84 mm 28.00 GeV 8.047E-02 6.949E-06 1.23 m 42.84 mm 7.98 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 5.2015E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler