================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_N_15 Ion = Nitrogen [7] , Mass = 15.0001 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Nitrogen [7] , Mass = 15.0001 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 150.00 keV 1.524E+00 2.218E-01 3586 A 939 A 868 A 160.00 keV 1.560E+00 2.133E-01 3806 A 970 A 905 A 170.00 keV 1.597E+00 2.056E-01 4022 A 1000 A 941 A 180.00 keV 1.635E+00 1.985E-01 4236 A 1028 A 976 A 200.00 keV 1.713E+00 1.858E-01 4656 A 1081 A 1042 A 225.00 keV 1.816E+00 1.724E-01 5163 A 1140 A 1119 A 250.00 keV 1.923E+00 1.610E-01 5651 A 1193 A 1189 A 275.00 keV 2.033E+00 1.512E-01 6119 A 1239 A 1255 A 300.00 keV 2.144E+00 1.427E-01 6568 A 1281 A 1315 A 325.00 keV 2.257E+00 1.352E-01 6999 A 1318 A 1371 A 350.00 keV 2.370E+00 1.285E-01 7414 A 1351 A 1422 A 375.00 keV 2.482E+00 1.225E-01 7813 A 1381 A 1470 A 400.00 keV 2.593E+00 1.172E-01 8197 A 1409 A 1514 A 450.00 keV 2.811E+00 1.079E-01 8925 A 1458 A 1594 A 500.00 keV 3.021E+00 1.001E-01 9608 A 1499 A 1663 A 550.00 keV 3.222E+00 9.350E-02 1.03 um 1534 A 1725 A 600.00 keV 3.412E+00 8.780E-02 1.09 um 1564 A 1780 A 650.00 keV 3.591E+00 8.282E-02 1.14 um 1591 A 1829 A 700.00 keV 3.760E+00 7.843E-02 1.20 um 1615 A 1874 A 800.00 keV 4.066E+00 7.104E-02 1.30 um 1658 A 1953 A 900.00 keV 4.332E+00 6.505E-02 1.40 um 1694 A 2020 A 1.00 MeV 4.564E+00 6.007E-02 1.50 um 1725 A 2078 A 1.10 MeV 4.764E+00 5.587E-02 1.59 um 1752 A 2130 A 1.20 MeV 4.938E+00 5.227E-02 1.67 um 1776 A 2176 A 1.30 MeV 5.088E+00 4.915E-02 1.76 um 1797 A 2219 A 1.40 MeV 5.217E+00 4.641E-02 1.84 um 1817 A 2258 A 1.50 MeV 5.329E+00 4.398E-02 1.92 um 1835 A 2294 A 1.60 MeV 5.427E+00 4.182E-02 2.00 um 1851 A 2328 A 1.70 MeV 5.511E+00 3.988E-02 2.07 um 1867 A 2360 A 1.80 MeV 5.584E+00 3.813E-02 2.15 um 1882 A 2390 A 2.00 MeV 5.702E+00 3.509E-02 2.30 um 1915 A 2445 A 2.25 MeV 5.810E+00 3.195E-02 2.49 um 1957 A 2508 A 2.50 MeV 5.887E+00 2.937E-02 2.67 um 1995 A 2566 A 2.75 MeV 5.940E+00 2.721E-02 2.85 um 2030 A 2619 A 3.00 MeV 5.978E+00 2.537E-02 3.03 um 2064 A 2669 A 3.25 MeV 6.003E+00 2.377E-02 3.20 um 2097 A 2717 A 3.50 MeV 6.020E+00 2.239E-02 3.38 um 2128 A 2762 A 3.75 MeV 6.030E+00 2.116E-02 3.56 um 2158 A 2805 A 4.00 MeV 6.035E+00 2.007E-02 3.74 um 2187 A 2847 A 4.50 MeV 6.035E+00 1.823E-02 4.09 um 2271 A 2927 A 5.00 MeV 6.026E+00 1.671E-02 4.45 um 2351 A 3002 A 5.50 MeV 6.011E+00 1.544E-02 4.80 um 2427 A 3074 A 6.00 MeV 5.992E+00 1.437E-02 5.16 um 2502 A 3143 A 6.50 MeV 5.971E+00 1.344E-02 5.52 um 2574 A 3210 A 7.00 MeV 5.949E+00 1.264E-02 5.88 um 2644 A 3275 A 8.00 MeV 5.901E+00 1.130E-02 6.60 um 2873 A 3402 A 9.00 MeV 5.849E+00 1.024E-02 7.33 um 3087 A 3523 A 10.00 MeV 5.796E+00 9.366E-03 8.07 um 3290 A 3641 A 11.00 MeV 5.742E+00 8.641E-03 8.81 um 3484 A 3757 A 12.00 MeV 5.687E+00 8.027E-03 9.57 um 3672 A 3870 A 13.00 MeV 5.630E+00 7.499E-03 10.33 um 3853 A 3981 A 14.00 MeV 5.574E+00 7.040E-03 11.09 um 4029 A 4092 A 15.00 MeV 5.516E+00 6.638E-03 11.87 um 4202 A 4201 A 16.00 MeV 5.459E+00 6.282E-03 12.65 um 4371 A 4309 A 17.00 MeV 5.401E+00 5.964E-03 13.44 um 4536 A 4417 A 18.00 MeV 5.343E+00 5.679E-03 14.24 um 4700 A 4524 A 20.00 MeV 5.228E+00 5.187E-03 15.87 um 5277 A 4737 A 22.50 MeV 5.085E+00 4.687E-03 17.96 um 6095 A 5003 A 25.00 MeV 4.945E+00 4.280E-03 20.10 um 6855 A 5270 A 27.50 MeV 4.809E+00 3.941E-03 22.31 um 7576 A 5539 A 30.00 MeV 4.677E+00 3.655E-03 24.57 um 8271 A 5810 A 32.50 MeV 4.547E+00 3.409E-03 26.91 um 8947 A 6085 A 35.00 MeV 4.394E+00 3.196E-03 29.31 um 9615 A 6364 A 37.50 MeV 4.249E+00 3.010E-03 31.80 um 1.03 um 6649 A 40.00 MeV 4.123E+00 2.845E-03 34.38 um 1.09 um 6940 A 45.00 MeV 3.890E+00 2.567E-03 39.75 um 1.34 um 7541 A 50.00 MeV 3.677E+00 2.341E-03 45.44 um 1.57 um 8169 A 55.00 MeV 3.485E+00 2.153E-03 51.46 um 1.79 um 8825 A 60.00 MeV 3.309E+00 1.995E-03 57.79 um 2.01 um 9511 A 65.00 MeV 3.149E+00 1.859E-03 64.46 um 2.23 um 1.02 um 70.00 MeV 3.004E+00 1.742E-03 71.46 um 2.45 um 1.10 um 80.00 MeV 2.747E+00 1.548E-03 86.45 um 3.25 um 1.26 um 90.00 MeV 2.531E+00 1.395E-03 102.79 um 4.00 um 1.43 um 100.00 MeV 2.346E+00 1.271E-03 120.46 um 4.74 um 1.61 um 110.00 MeV 2.186E+00 1.168E-03 139.48 um 5.46 um 1.81 um 120.00 MeV 2.048E+00 1.081E-03 159.83 um 6.19 um 2.02 um 130.00 MeV 1.927E+00 1.007E-03 181.50 um 6.93 um 2.25 um 140.00 MeV 1.821E+00 9.423E-04 204.50 um 7.67 um 2.48 um 150.00 MeV 1.726E+00 8.861E-04 228.79 um 8.42 um 2.74 um 160.00 MeV 1.641E+00 8.366E-04 254.37 um 9.19 um 3.00 um 170.00 MeV 1.566E+00 7.925E-04 281.24 um 9.97 um 3.27 um 180.00 MeV 1.497E+00 7.531E-04 309.36 um 10.75 um 3.56 um 200.00 MeV 1.378E+00 6.854E-04 369.32 um 13.74 um 4.17 um 225.00 MeV 1.257E+00 6.168E-04 451.14 um 18.02 um 5.01 um 250.00 MeV 1.157E+00 5.612E-04 540.46 um 22.06 um 5.91 um 275.00 MeV 1.073E+00 5.151E-04 637.12 um 26.01 um 6.89 um 300.00 MeV 1.002E+00 4.764E-04 740.99 um 29.94 um 7.93 um 325.00 MeV 9.401E-01 4.433E-04 851.95 um 33.87 um 9.04 um 350.00 MeV 8.865E-01 4.147E-04 969.89 um 37.83 um 10.22 um 375.00 MeV 8.392E-01 3.897E-04 1.09 mm 41.82 um 11.46 um 400.00 MeV 7.972E-01 3.677E-04 1.23 mm 45.86 um 12.77 um 450.00 MeV 7.260E-01 3.306E-04 1.51 mm 61.04 um 15.57 um 500.00 MeV 6.677E-01 3.006E-04 1.82 mm 75.27 um 18.61 um 550.00 MeV 6.191E-01 2.757E-04 2.15 mm 89.11 um 21.89 um 600.00 MeV 5.778E-01 2.548E-04 2.51 mm 102.83 um 25.40 um 650.00 MeV 5.424E-01 2.370E-04 2.90 mm 116.53 um 29.14 um 700.00 MeV 5.116E-01 2.216E-04 3.31 mm 130.30 um 33.09 um 800.00 MeV 4.607E-01 1.963E-04 4.19 mm 181.32 um 41.64 um 900.00 MeV 4.203E-01 1.764E-04 5.17 mm 228.57 um 51.00 um 1.00 GeV 3.874E-01 1.603E-04 6.24 mm 274.39 um 61.15 um 1.10 GeV 3.601E-01 1.469E-04 7.39 mm 319.71 um 72.06 um 1.20 GeV 3.370E-01 1.357E-04 8.63 mm 364.94 um 83.68 um 1.30 GeV 3.173E-01 1.262E-04 9.95 mm 410.33 um 96.00 um 1.40 GeV 3.001E-01 1.179E-04 11.34 mm 455.96 um 108.99 um 1.50 GeV 2.852E-01 1.107E-04 12.82 mm 501.91 um 122.63 um 1.60 GeV 2.720E-01 1.044E-04 14.36 mm 548.20 um 136.89 um 1.70 GeV 2.602E-01 9.875E-05 15.98 mm 594.85 um 151.74 um 1.80 GeV 2.497E-01 9.372E-05 17.67 mm 641.83 um 167.18 um 2.00 GeV 2.317E-01 8.511E-05 21.25 mm 819.16 um 199.74 um 2.25 GeV 2.134E-01 7.640E-05 26.10 mm 1.07 mm 243.36 um 2.50 GeV 1.987E-01 6.937E-05 31.33 mm 1.30 mm 289.99 um 2.75 GeV 1.865E-01 6.356E-05 36.92 mm 1.53 mm 339.38 um 3.00 GeV 1.763E-01 5.868E-05 42.86 mm 1.74 mm 391.32 um 3.25 GeV 1.676E-01 5.452E-05 49.12 mm 1.96 mm 445.62 um 3.50 GeV 1.601E-01 5.093E-05 55.70 mm 2.17 mm 502.08 um 3.75 GeV 1.536E-01 4.780E-05 62.56 mm 2.38 mm 560.54 um 4.00 GeV 1.479E-01 4.504E-05 69.71 mm 2.59 mm 620.86 um 4.50 GeV 1.384E-01 4.041E-05 84.76 mm 3.36 mm 746.51 um 5.00 GeV 1.307E-01 3.668E-05 100.78 mm 4.05 mm 878.01 um 5.50 GeV 1.245E-01 3.359E-05 117.67 mm 4.71 mm 1.01 mm 6.00 GeV 1.193E-01 3.100E-05 135.35 mm 5.34 mm 1.16 mm 6.50 GeV 1.149E-01 2.879E-05 153.75 mm 5.94 mm 1.30 mm 7.00 GeV 1.112E-01 2.689E-05 172.80 mm 6.53 mm 1.45 mm 8.00 GeV 1.052E-01 2.377E-05 212.65 mm 8.63 mm 1.75 mm 9.00 GeV 1.006E-01 2.131E-05 254.53 mm 10.48 mm 2.06 mm 10.00 GeV 9.702E-02 1.933E-05 298.14 mm 12.17 mm 2.37 mm 11.00 GeV 9.416E-02 1.770E-05 343.21 mm 13.74 mm 2.68 mm 12.00 GeV 9.185E-02 1.633E-05 389.53 mm 15.23 mm 3.00 mm 13.00 GeV 8.996E-02 1.516E-05 436.91 mm 16.65 mm 3.32 mm 14.00 GeV 8.839E-02 1.415E-05 485.22 mm 18.01 mm 3.63 mm 15.00 GeV 8.709E-02 1.328E-05 534.32 mm 19.31 mm 3.95 mm 16.00 GeV 8.599E-02 1.250E-05 584.09 mm 20.56 mm 4.26 mm 17.00 GeV 8.506E-02 1.182E-05 634.46 mm 21.77 mm 4.57 mm 18.00 GeV 8.428E-02 1.121E-05 685.33 mm 22.93 mm 4.87 mm 20.00 GeV 8.304E-02 1.016E-05 788.32 mm 27.18 mm 5.47 mm 22.50 GeV 8.196E-02 9.109E-06 918.86 mm 32.87 mm 6.20 mm 25.00 GeV 8.123E-02 8.259E-06 1.05 m 37.82 mm 6.91 mm 27.50 GeV 8.075E-02 7.558E-06 1.18 m 42.25 mm 7.60 mm 30.00 GeV 8.046E-02 6.970E-06 1.32 m 46.30 mm 8.27 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 4.9708E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler