================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_O_16 Ion = Oxygen [8] , Mass = 15.9949 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Oxygen [8] , Mass = 15.9949 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 160.00 keV 1.555E+00 2.773E-01 3607 A 989 A 896 A 170.00 keV 1.595E+00 2.676E-01 3813 A 1021 A 934 A 180.00 keV 1.635E+00 2.586E-01 4017 A 1052 A 970 A 200.00 keV 1.714E+00 2.426E-01 4417 A 1109 A 1039 A 225.00 keV 1.814E+00 2.256E-01 4904 A 1173 A 1119 A 250.00 keV 1.915E+00 2.111E-01 5374 A 1231 A 1194 A 275.00 keV 2.016E+00 1.985E-01 5828 A 1283 A 1263 A 300.00 keV 2.118E+00 1.876E-01 6267 A 1330 A 1328 A 325.00 keV 2.220E+00 1.780E-01 6692 A 1372 A 1388 A 350.00 keV 2.322E+00 1.694E-01 7102 A 1410 A 1444 A 375.00 keV 2.425E+00 1.617E-01 7498 A 1445 A 1496 A 400.00 keV 2.526E+00 1.548E-01 7882 A 1477 A 1544 A 450.00 keV 2.729E+00 1.427E-01 8614 A 1534 A 1633 A 500.00 keV 2.928E+00 1.326E-01 9303 A 1583 A 1711 A 550.00 keV 3.123E+00 1.240E-01 9954 A 1624 A 1781 A 600.00 keV 3.312E+00 1.166E-01 1.06 um 1661 A 1843 A 650.00 keV 3.496E+00 1.101E-01 1.12 um 1693 A 1900 A 700.00 keV 3.674E+00 1.043E-01 1.17 um 1721 A 1951 A 800.00 keV 4.011E+00 9.465E-02 1.28 um 1771 A 2040 A 900.00 keV 4.322E+00 8.677E-02 1.38 um 1813 A 2116 A 1.00 MeV 4.607E+00 8.022E-02 1.47 um 1848 A 2182 A 1.10 MeV 4.867E+00 7.467E-02 1.56 um 1877 A 2240 A 1.20 MeV 5.103E+00 6.992E-02 1.64 um 1903 A 2291 A 1.30 MeV 5.318E+00 6.579E-02 1.72 um 1926 A 2337 A 1.40 MeV 5.512E+00 6.216E-02 1.80 um 1947 A 2379 A 1.50 MeV 5.688E+00 5.895E-02 1.87 um 1966 A 2418 A 1.60 MeV 5.846E+00 5.608E-02 1.94 um 1983 A 2453 A 1.70 MeV 5.990E+00 5.351E-02 2.02 um 1998 A 2486 A 1.80 MeV 6.119E+00 5.118E-02 2.09 um 2013 A 2517 A 2.00 MeV 6.340E+00 4.713E-02 2.22 um 2044 A 2574 A 2.25 MeV 6.558E+00 4.296E-02 2.39 um 2081 A 2636 A 2.50 MeV 6.725E+00 3.952E-02 2.55 um 2113 A 2692 A 2.75 MeV 6.852E+00 3.663E-02 2.70 um 2144 A 2743 A 3.00 MeV 6.948E+00 3.417E-02 2.86 um 2172 A 2790 A 3.25 MeV 7.020E+00 3.204E-02 3.01 um 2198 A 2834 A 3.50 MeV 7.073E+00 3.019E-02 3.16 um 2223 A 2875 A 3.75 MeV 7.111E+00 2.855E-02 3.31 um 2247 A 2914 A 4.00 MeV 7.137E+00 2.709E-02 3.46 um 2270 A 2951 A 4.50 MeV 7.163E+00 2.461E-02 3.76 um 2333 A 3022 A 5.00 MeV 7.165E+00 2.258E-02 4.06 um 2393 A 3087 A 5.50 MeV 7.152E+00 2.088E-02 4.36 um 2450 A 3149 A 6.00 MeV 7.130E+00 1.944E-02 4.66 um 2506 A 3209 A 6.50 MeV 7.101E+00 1.819E-02 4.96 um 2561 A 3266 A 7.00 MeV 7.069E+00 1.711E-02 5.26 um 2614 A 3321 A 8.00 MeV 7.000E+00 1.531E-02 5.87 um 2786 A 3427 A 9.00 MeV 6.928E+00 1.387E-02 6.49 um 2949 A 3529 A 10.00 MeV 6.857E+00 1.270E-02 7.11 um 3106 A 3628 A 11.00 MeV 6.788E+00 1.172E-02 7.74 um 3258 A 3725 A 12.00 MeV 6.721E+00 1.089E-02 8.37 um 3406 A 3819 A 13.00 MeV 6.655E+00 1.018E-02 9.02 um 3550 A 3912 A 14.00 MeV 6.591E+00 9.558E-03 9.66 um 3691 A 4004 A 15.00 MeV 6.529E+00 9.014E-03 10.32 um 3829 A 4095 A 16.00 MeV 6.468E+00 8.533E-03 10.98 um 3964 A 4185 A 17.00 MeV 6.408E+00 8.103E-03 11.65 um 4098 A 4275 A 18.00 MeV 6.349E+00 7.717E-03 12.32 um 4229 A 4364 A 20.00 MeV 6.234E+00 7.052E-03 13.69 um 4690 A 4541 A 22.50 MeV 6.094E+00 6.374E-03 15.43 um 5345 A 4761 A 25.00 MeV 5.958E+00 5.822E-03 17.22 um 5953 A 4981 A 27.50 MeV 5.825E+00 5.363E-03 19.04 um 6530 A 5201 A 30.00 MeV 5.695E+00 4.975E-03 20.91 um 7083 A 5422 A 32.50 MeV 5.571E+00 4.642E-03 22.82 um 7618 A 5645 A 35.00 MeV 5.440E+00 4.353E-03 24.77 um 8141 A 5869 A 37.50 MeV 5.284E+00 4.100E-03 26.78 um 8659 A 6096 A 40.00 MeV 5.139E+00 3.876E-03 28.85 um 9175 A 6327 A 45.00 MeV 4.890E+00 3.499E-03 33.14 um 1.11 um 6802 A 50.00 MeV 4.660E+00 3.191E-03 37.65 um 1.28 um 7292 A 55.00 MeV 4.447E+00 2.936E-03 42.38 um 1.45 um 7800 A 60.00 MeV 4.250E+00 2.721E-03 47.33 um 1.62 um 8327 A 65.00 MeV 4.067E+00 2.536E-03 52.50 um 1.78 um 8873 A 70.00 MeV 3.898E+00 2.376E-03 57.91 um 1.95 um 9439 A 80.00 MeV 3.595E+00 2.113E-03 69.41 um 2.55 um 1.06 um 90.00 MeV 3.334E+00 1.905E-03 81.85 um 3.11 um 1.19 um 100.00 MeV 3.107E+00 1.735E-03 95.23 um 3.65 um 1.33 um 110.00 MeV 2.909E+00 1.595E-03 109.56 um 4.19 um 1.47 um 120.00 MeV 2.735E+00 1.477E-03 124.83 um 4.72 um 1.63 um 130.00 MeV 2.582E+00 1.376E-03 141.03 um 5.26 um 1.79 um 140.00 MeV 2.446E+00 1.288E-03 158.17 um 5.81 um 1.96 um 150.00 MeV 2.325E+00 1.211E-03 176.23 um 6.36 um 2.14 um 160.00 MeV 2.216E+00 1.144E-03 195.20 um 6.92 um 2.33 um 170.00 MeV 2.118E+00 1.084E-03 215.08 um 7.49 um 2.53 um 180.00 MeV 2.030E+00 1.030E-03 235.84 um 8.06 um 2.74 um 200.00 MeV 1.877E+00 9.374E-04 279.97 um 10.22 um 3.17 um 225.00 MeV 1.720E+00 8.438E-04 339.89 um 13.32 um 3.76 um 250.00 MeV 1.591E+00 7.679E-04 404.99 um 16.23 um 4.40 um 275.00 MeV 1.483E+00 7.050E-04 475.10 um 19.06 um 5.09 um 300.00 MeV 1.390E+00 6.521E-04 550.11 um 21.86 um 5.81 um 325.00 MeV 1.309E+00 6.069E-04 629.95 um 24.65 um 6.58 um 350.00 MeV 1.236E+00 5.678E-04 714.61 um 27.46 um 7.40 um 375.00 MeV 1.171E+00 5.336E-04 804.10 um 30.29 um 8.25 um 400.00 MeV 1.111E+00 5.035E-04 898.51 um 33.16 um 9.15 um 450.00 MeV 1.003E+00 4.528E-04 1.10 mm 44.07 um 11.09 um 500.00 MeV 9.138E-01 4.118E-04 1.33 mm 54.48 um 13.21 um 550.00 MeV 8.476E-01 3.778E-04 1.57 mm 64.67 um 15.51 um 600.00 MeV 7.915E-01 3.492E-04 1.84 mm 74.73 um 17.98 um 650.00 MeV 7.432E-01 3.248E-04 2.12 mm 84.77 um 20.60 um 700.00 MeV 7.012E-01 3.037E-04 2.41 mm 94.84 um 23.38 um 800.00 MeV 6.316E-01 2.691E-04 3.06 mm 132.12 um 29.40 um 900.00 MeV 5.763E-01 2.418E-04 3.78 mm 166.60 um 36.00 um 1.00 GeV 5.312E-01 2.198E-04 4.55 mm 200.03 um 43.15 um 1.10 GeV 4.937E-01 2.015E-04 5.40 mm 233.09 um 50.83 um 1.20 GeV 4.620E-01 1.862E-04 6.30 mm 266.10 um 59.02 um 1.30 GeV 4.348E-01 1.731E-04 7.26 mm 299.21 um 67.71 um 1.40 GeV 4.112E-01 1.618E-04 8.28 mm 332.52 um 76.87 um 1.50 GeV 3.906E-01 1.519E-04 9.35 mm 366.07 um 86.50 um 1.60 GeV 3.725E-01 1.432E-04 10.48 mm 399.89 um 96.56 um 1.70 GeV 3.563E-01 1.355E-04 11.66 mm 433.97 um 107.06 um 1.80 GeV 3.418E-01 1.286E-04 12.90 mm 468.32 um 117.96 um 2.00 GeV 3.169E-01 1.168E-04 15.52 mm 598.06 um 140.98 um 2.25 GeV 2.917E-01 1.049E-04 19.06 mm 781.47 um 171.86 um 2.50 GeV 2.713E-01 9.525E-05 22.89 mm 952.04 um 204.90 um 2.75 GeV 2.545E-01 8.728E-05 26.99 mm 1.12 mm 239.95 um 3.00 GeV 2.403E-01 8.059E-05 31.34 mm 1.28 mm 276.85 um 3.25 GeV 2.283E-01 7.488E-05 35.94 mm 1.43 mm 315.47 um 3.50 GeV 2.179E-01 6.996E-05 40.77 mm 1.59 mm 355.69 um 3.75 GeV 2.089E-01 6.566E-05 45.81 mm 1.74 mm 397.38 um 4.00 GeV 2.009E-01 6.188E-05 51.07 mm 1.90 mm 440.44 um 4.50 GeV 1.877E-01 5.553E-05 62.16 mm 2.47 mm 530.32 um 5.00 GeV 1.770E-01 5.040E-05 73.98 mm 2.98 mm 624.60 um 5.50 GeV 1.683E-01 4.616E-05 86.46 mm 3.47 mm 722.65 um 6.00 GeV 1.610E-01 4.261E-05 99.55 mm 3.93 mm 823.93 um 6.50 GeV 1.549E-01 3.957E-05 113.18 mm 4.39 mm 928.00 um 7.00 GeV 1.497E-01 3.696E-05 127.32 mm 4.82 mm 1.03 mm 8.00 GeV 1.413E-01 3.267E-05 156.95 mm 6.40 mm 1.25 mm 9.00 GeV 1.349E-01 2.930E-05 188.16 mm 7.78 mm 1.48 mm 10.00 GeV 1.298E-01 2.658E-05 220.72 mm 9.04 mm 1.71 mm 11.00 GeV 1.257E-01 2.434E-05 254.44 mm 10.23 mm 1.94 mm 12.00 GeV 1.225E-01 2.246E-05 289.15 mm 11.35 mm 2.17 mm 13.00 GeV 1.198E-01 2.085E-05 324.72 mm 12.42 mm 2.40 mm 14.00 GeV 1.175E-01 1.947E-05 361.04 mm 13.45 mm 2.63 mm 15.00 GeV 1.156E-01 1.826E-05 397.99 mm 14.44 mm 2.87 mm 16.00 GeV 1.140E-01 1.720E-05 435.51 mm 15.39 mm 3.10 mm 17.00 GeV 1.127E-01 1.626E-05 473.51 mm 16.30 mm 3.32 mm 18.00 GeV 1.115E-01 1.542E-05 511.94 mm 17.19 mm 3.55 mm 20.00 GeV 1.097E-01 1.398E-05 589.83 mm 20.43 mm 4.00 mm 22.50 GeV 1.081E-01 1.254E-05 688.75 mm 24.77 mm 4.55 mm 25.00 GeV 1.069E-01 1.137E-05 788.94 mm 28.55 mm 5.08 mm 27.50 GeV 1.062E-01 1.040E-05 890.02 mm 31.94 mm 5.59 mm 30.00 GeV 1.056E-01 9.593E-06 991.70 mm 35.04 mm 6.10 mm 32.00 GeV 1.054E-01 9.034E-06 1.07 m 36.90 mm 6.48 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 4.2475E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler