================================================================== Calculation using SRIM-2006 SRIM version ---> SRIM-2008.04 Calc. date ---> February 26, 2010 ================================================================== Disk File Name = Si_P_31 Ion = Phosphorus [15] , Mass = 30.9738 amu Density = 2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3 ======= Target Composition ======== Atom Atom Atomic Mass Name Numb Percent Percent ---- ---- ------- ------- Si 14 100.00 100.00 ==================================== Bragg Correction = 0.00% Stopping Units = MeV/(mg/cm2) See bottom of Table for other Stopping units Ion = Phosphorus [15] , Mass = 30.9738 amu Ion dE/dx dE/dx Projected Longitudinal Lateral Energy Elec. Nuclear Range Straggling Straggling ----------- ---------- ---------- ---------- ---------- ---------- 325.00 keV 2.351E+00 8.224E-01 4171 A 1039 A 896 A 350.00 keV 2.437E+00 7.894E-01 4474 A 1086 A 947 A 375.00 keV 2.522E+00 7.593E-01 4774 A 1130 A 997 A 400.00 keV 2.609E+00 7.318E-01 5069 A 1172 A 1045 A 450.00 keV 2.785E+00 6.833E-01 5647 A 1251 A 1137 A 500.00 keV 2.964E+00 6.416E-01 6207 A 1321 A 1223 A 550.00 keV 3.145E+00 6.054E-01 6749 A 1384 A 1303 A 600.00 keV 3.327E+00 5.736E-01 7272 A 1441 A 1378 A 650.00 keV 3.510E+00 5.455E-01 7777 A 1493 A 1448 A 700.00 keV 3.692E+00 5.203E-01 8266 A 1540 A 1514 A 800.00 keV 4.051E+00 4.772E-01 9194 A 1624 A 1632 A 900.00 keV 4.401E+00 4.415E-01 1.01 um 1694 A 1737 A 1.00 MeV 4.740E+00 4.114E-01 1.09 um 1754 A 1830 A 1.10 MeV 5.064E+00 3.856E-01 1.17 um 1806 A 1914 A 1.20 MeV 5.375E+00 3.632E-01 1.24 um 1851 A 1989 A 1.30 MeV 5.671E+00 3.436E-01 1.31 um 1891 A 2057 A 1.40 MeV 5.952E+00 3.262E-01 1.38 um 1927 A 2119 A 1.50 MeV 6.219E+00 3.107E-01 1.44 um 1959 A 2175 A 1.60 MeV 6.472E+00 2.967E-01 1.51 um 1988 A 2228 A 1.70 MeV 6.711E+00 2.841E-01 1.57 um 2014 A 2276 A 1.80 MeV 6.939E+00 2.727E-01 1.63 um 2038 A 2322 A 2.00 MeV 7.359E+00 2.526E-01 1.74 um 2084 A 2404 A 2.25 MeV 7.825E+00 2.317E-01 1.87 um 2134 A 2493 A 2.50 MeV 8.236E+00 2.143E-01 2.00 um 2177 A 2572 A 2.75 MeV 8.601E+00 1.996E-01 2.13 um 2215 A 2642 A 3.00 MeV 8.927E+00 1.870E-01 2.24 um 2249 A 2705 A 3.25 MeV 9.220E+00 1.760E-01 2.36 um 2279 A 2763 A 3.50 MeV 9.484E+00 1.663E-01 2.47 um 2307 A 2816 A 3.75 MeV 9.726E+00 1.578E-01 2.58 um 2332 A 2865 A 4.00 MeV 9.946E+00 1.501E-01 2.69 um 2356 A 2910 A 4.50 MeV 1.034E+01 1.371E-01 2.89 um 2407 A 2993 A 5.00 MeV 1.068E+01 1.263E-01 3.09 um 2453 A 3068 A 5.50 MeV 1.097E+01 1.172E-01 3.29 um 2494 A 3135 A 6.00 MeV 1.124E+01 1.094E-01 3.48 um 2532 A 3196 A 6.50 MeV 1.148E+01 1.027E-01 3.67 um 2567 A 3253 A 7.00 MeV 1.170E+01 9.685E-02 3.85 um 2599 A 3306 A 8.00 MeV 1.208E+01 8.705E-02 4.21 um 2682 A 3402 A 9.00 MeV 1.240E+01 7.919E-02 4.55 um 2757 A 3489 A 10.00 MeV 1.269E+01 7.273E-02 4.89 um 2825 A 3567 A 11.00 MeV 1.294E+01 6.732E-02 5.23 um 2888 A 3639 A 12.00 MeV 1.316E+01 6.272E-02 5.56 um 2947 A 3706 A 13.00 MeV 1.336E+01 5.874E-02 5.88 um 3002 A 3769 A 14.00 MeV 1.353E+01 5.528E-02 6.20 um 3054 A 3828 A 15.00 MeV 1.369E+01 5.223E-02 6.51 um 3104 A 3884 A 16.00 MeV 1.383E+01 4.953E-02 6.82 um 3152 A 3937 A 17.00 MeV 1.396E+01 4.711E-02 7.13 um 3197 A 3988 A 18.00 MeV 1.408E+01 4.493E-02 7.44 um 3241 A 4037 A 20.00 MeV 1.428E+01 4.116E-02 8.04 um 3379 A 4129 A 22.50 MeV 1.448E+01 3.731E-02 8.79 um 3569 A 4237 A 25.00 MeV 1.463E+01 3.417E-02 9.52 um 3745 A 4336 A 27.50 MeV 1.474E+01 3.154E-02 10.25 um 3910 A 4430 A 30.00 MeV 1.482E+01 2.931E-02 10.98 um 4065 A 4520 A 32.50 MeV 1.487E+01 2.740E-02 11.70 um 4213 A 4605 A 35.00 MeV 1.489E+01 2.573E-02 12.43 um 4355 A 4687 A 37.50 MeV 1.490E+01 2.427E-02 13.15 um 4492 A 4766 A 40.00 MeV 1.489E+01 2.298E-02 13.87 um 4624 A 4843 A 45.00 MeV 1.484E+01 2.078E-02 15.31 um 5088 A 4992 A 50.00 MeV 1.473E+01 1.900E-02 16.77 um 5517 A 5134 A 55.00 MeV 1.460E+01 1.751E-02 18.23 um 5920 A 5272 A 60.00 MeV 1.444E+01 1.625E-02 19.72 um 6305 A 5406 A 65.00 MeV 1.428E+01 1.517E-02 21.21 um 6675 A 5539 A 70.00 MeV 1.403E+01 1.423E-02 22.73 um 7036 A 5669 A 80.00 MeV 1.348E+01 1.268E-02 25.86 um 8352 A 5930 A 90.00 MeV 1.300E+01 1.145E-02 29.11 um 9571 A 6192 A 100.00 MeV 1.253E+01 1.045E-02 32.48 um 1.07 um 6456 A 110.00 MeV 1.209E+01 9.622E-03 35.98 um 1.18 um 6725 A 120.00 MeV 1.166E+01 8.920E-03 39.61 um 1.29 um 7000 A 130.00 MeV 1.125E+01 8.318E-03 43.37 um 1.40 um 7282 A 140.00 MeV 1.087E+01 7.797E-03 47.26 um 1.51 um 7571 A 150.00 MeV 1.051E+01 7.340E-03 51.29 um 1.62 um 7867 A 160.00 MeV 1.017E+01 6.937E-03 55.45 um 1.72 um 8173 A 170.00 MeV 9.855E+00 6.578E-03 59.75 um 1.83 um 8486 A 180.00 MeV 9.555E+00 6.256E-03 64.19 um 1.94 um 8809 A 200.00 MeV 9.009E+00 5.703E-03 73.47 um 2.35 um 9482 A 225.00 MeV 8.412E+00 5.141E-03 85.84 um 2.94 um 1.04 um 250.00 MeV 7.896E+00 4.685E-03 99.05 um 3.49 um 1.13 um 275.00 MeV 7.447E+00 4.306E-03 113.09 um 4.02 um 1.23 um 300.00 MeV 7.053E+00 3.987E-03 127.94 um 4.54 um 1.34 um 325.00 MeV 6.705E+00 3.714E-03 143.60 um 5.06 um 1.45 um 350.00 MeV 6.397E+00 3.478E-03 160.04 um 5.58 um 1.57 um 375.00 MeV 6.121E+00 3.271E-03 177.25 um 6.10 um 1.69 um 400.00 MeV 5.872E+00 3.089E-03 195.20 um 6.61 um 1.82 um 450.00 MeV 5.443E+00 2.781E-03 233.30 um 8.55 um 2.09 um 500.00 MeV 5.084E+00 2.532E-03 274.24 um 10.34 um 2.38 um 550.00 MeV 4.777E+00 2.326E-03 317.95 um 12.06 um 2.69 um 600.00 MeV 4.510E+00 2.152E-03 364.35 um 13.75 um 3.01 um 650.00 MeV 4.274E+00 2.003E-03 413.40 um 15.42 um 3.35 um 700.00 MeV 4.062E+00 1.874E-03 465.09 um 17.08 um 3.71 um 800.00 MeV 3.694E+00 1.663E-03 576.29 um 23.26 um 4.47 um 900.00 MeV 3.379E+00 1.496E-03 698.22 um 28.99 um 5.30 um 1.00 GeV 3.122E+00 1.361E-03 830.85 um 34.57 um 6.19 um 1.10 GeV 2.910E+00 1.249E-03 973.76 um 40.08 um 7.14 um 1.20 GeV 2.729E+00 1.155E-03 1.13 mm 45.58 um 8.15 um 1.30 GeV 2.565E+00 1.074E-03 1.29 mm 51.12 um 9.23 um 1.40 GeV 2.422E+00 1.005E-03 1.46 mm 56.71 um 10.36 um 1.50 GeV 2.296E+00 9.442E-04 1.64 mm 62.37 um 11.55 um 1.60 GeV 2.185E+00 8.907E-04 1.84 mm 68.09 um 12.80 um 1.70 GeV 2.085E+00 8.431E-04 2.04 mm 73.89 um 14.10 um 1.80 GeV 1.995E+00 8.006E-04 2.25 mm 79.76 um 15.47 um 2.00 GeV 1.841E+00 7.278E-04 2.70 mm 102.12 um 18.35 um 2.25 GeV 1.683E+00 6.540E-04 3.31 mm 134.01 um 22.25 um 2.50 GeV 1.555E+00 5.944E-04 3.98 mm 163.94 um 26.47 um 2.75 GeV 1.448E+00 5.451E-04 4.70 mm 193.00 um 30.99 um 3.00 GeV 1.358E+00 5.036E-04 5.46 mm 221.65 um 35.79 um 3.25 GeV 1.280E+00 4.682E-04 6.28 mm 250.14 um 40.87 um 3.50 GeV 1.213E+00 4.377E-04 7.14 mm 278.58 um 46.22 um 3.75 GeV 1.155E+00 4.110E-04 8.05 mm 307.07 um 51.81 um 4.00 GeV 1.103E+00 3.875E-04 9.01 mm 335.62 um 57.65 um 4.50 GeV 1.016E+00 3.480E-04 11.04 mm 442.53 um 70.02 um 5.00 GeV 9.457E-01 3.161E-04 13.24 mm 541.20 um 83.26 um 5.50 GeV 8.875E-01 2.897E-04 15.59 mm 635.65 um 97.28 um 6.00 GeV 8.386E-01 2.676E-04 18.09 mm 727.61 um 112.04 um 6.50 GeV 7.969E-01 2.486E-04 20.72 mm 817.97 um 127.49 um 7.00 GeV 7.610E-01 2.323E-04 23.49 mm 907.19 um 143.55 um 8.00 GeV 7.024E-01 2.056E-04 29.38 mm 1.23 mm 177.41 um 9.00 GeV 6.565E-01 1.845E-04 35.73 mm 1.53 mm 213.26 um 10.00 GeV 6.198E-01 1.675E-04 42.48 mm 1.80 mm 250.84 um 11.00 GeV 5.897E-01 1.534E-04 49.61 mm 2.06 mm 289.88 um 12.00 GeV 5.647E-01 1.416E-04 57.07 mm 2.32 mm 330.19 um 13.00 GeV 5.436E-01 1.316E-04 64.85 mm 2.57 mm 371.57 um 14.00 GeV 5.256E-01 1.229E-04 72.91 mm 2.81 mm 413.86 um 15.00 GeV 5.101E-01 1.153E-04 81.23 mm 3.05 mm 456.92 um 16.00 GeV 4.966E-01 1.087E-04 89.79 mm 3.28 mm 500.63 um 17.00 GeV 4.849E-01 1.028E-04 98.57 mm 3.51 mm 544.88 um 18.00 GeV 4.745E-01 9.750E-05 107.55 mm 3.73 mm 589.57 um 20.00 GeV 4.571E-01 8.846E-05 126.05 mm 4.56 mm 679.99 um 22.50 GeV 4.402E-01 7.935E-05 150.06 mm 5.69 mm 794.22 um 25.00 GeV 4.272E-01 7.199E-05 174.90 mm 6.69 mm 909.01 um 27.50 GeV 4.169E-01 6.591E-05 200.42 mm 7.60 mm 1.02 mm 30.00 GeV 4.087E-01 6.081E-05 226.51 mm 8.45 mm 1.14 mm 32.50 GeV 4.021E-01 5.647E-05 253.08 mm 9.25 mm 1.25 mm 35.00 GeV 3.967E-01 5.273E-05 280.05 mm 10.01 mm 1.36 mm 37.50 GeV 3.923E-01 4.946E-05 307.35 mm 10.73 mm 1.47 mm 40.00 GeV 3.886E-01 4.659E-05 334.93 mm 11.42 mm 1.58 mm 45.00 GeV 3.832E-01 4.177E-05 390.75 mm 13.89 mm 1.80 mm 50.00 GeV 3.795E-01 3.788E-05 447.24 mm 16.02 mm 2.01 mm 55.00 GeV 3.770E-01 3.467E-05 504.18 mm 17.94 mm 2.21 mm 60.00 GeV 3.754E-01 3.198E-05 561.44 mm 19.68 mm 2.41 mm 62.00 GeV 3.750E-01 3.102E-05 584.41 mm 19.95 mm 2.48 mm ----------------------------------------------------------- Multiply Stopping by for Stopping Units ------------------- ------------------ 2.3211E+01 eV/Angstrom 2.3211E+02 keV/micron 2.3211E+02 MeV/mm 1.0000E+00 keV/(ug/cm2) 1.0000E+00 MeV/(mg/cm2) 1.0000E+03 keV/(mg/cm2) 4.6637E+01 eV/(1E15 atoms/cm2) 1.7257E-01 L.S.S. reduced units ================================================================== (C) 1984,1989,1992,1998,2006 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler