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180.000 -100.000 0.200 240.000 -100.000 0.200 0. 0. 300.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 300 mm stsstation01sector60 cave BOX silicon 240.000 -100.000 -0.200 180.000 -100.000 -0.200 180.000 -100.000 0.200 240.000 -100.000 0.200 240.000 -140.000 -0.200 180.000 -140.000 -0.200 180.000 -140.000 0.200 240.000 -140.000 0.200 0. 0. 300.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 300 mm stsstation01sector61 cave BOX silicon -14.000 -0.000 -0.200 -60.000 -0.000 -0.200 -60.000 -0.000 0.200 -14.000 -0.000 0.200 -14.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 0.200 -14.000 -20.000 0.200 0. 0. 300.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 300 mm stsstation01sector62 cave BOX silicon -0.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 0.200 -0.000 -20.000 0.200 -0.000 -40.000 -0.200 -60.000 -40.000 -0.200 -60.000 -40.000 0.200 -0.000 -40.000 0.200 0. 0. 300.000 1. 0. 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cave BOX silicon 0.000 100.000 -0.200 60.000 100.000 -0.200 60.000 100.000 0.200 0.000 100.000 0.200 0.000 180.000 -0.200 60.000 180.000 -0.200 60.000 180.000 0.200 0.000 180.000 0.200 0. 0. 350.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 350 mm stsstation02sector6 cave BOX silicon 60.000 0.000 -0.200 120.000 0.000 -0.200 120.000 0.000 0.200 60.000 0.000 0.200 60.000 20.000 -0.200 120.000 20.000 -0.200 120.000 20.000 0.200 60.000 20.000 0.200 0. 0. 350.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 350 mm stsstation02sector7 cave BOX silicon 60.000 20.000 -0.200 120.000 20.000 -0.200 120.000 20.000 0.200 60.000 20.000 0.200 60.000 40.000 -0.200 120.000 40.000 -0.200 120.000 40.000 0.200 60.000 40.000 0.200 0. 0. 350.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 350 mm stsstation02sector8 cave BOX silicon 60.000 40.000 -0.200 120.000 40.000 -0.200 120.000 40.000 0.200 60.000 40.000 0.200 60.000 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BOX silicon 300.000 0.000 -0.200 360.000 0.000 -0.200 360.000 0.000 0.200 300.000 0.000 0.200 300.000 20.000 -0.200 360.000 20.000 -0.200 360.000 20.000 0.200 300.000 20.000 0.200 0. 0. 400.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 400 mm stsstation03sector22 cave BOX silicon 300.000 20.000 -0.200 360.000 20.000 -0.200 360.000 20.000 0.200 300.000 20.000 0.200 300.000 60.000 -0.200 360.000 60.000 -0.200 360.000 60.000 0.200 300.000 60.000 0.200 0. 0. 400.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 400 mm stsstation03sector23 cave BOX silicon 300.000 60.000 -0.200 360.000 60.000 -0.200 360.000 60.000 0.200 300.000 60.000 0.200 300.000 140.000 -0.200 360.000 140.000 -0.200 360.000 140.000 0.200 300.000 140.000 0.200 0. 0. 400.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 400 mm stsstation03sector24 cave BOX silicon 300.000 140.000 -0.200 360.000 140.000 -0.200 360.000 140.000 0.200 300.000 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-60.000 -20.000 0.200 -22.000 -20.000 0.200 0. 0. 500.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 500 mm stsstation04sector86 cave BOX silicon -0.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 -0.200 -60.000 -20.000 0.200 -0.000 -20.000 0.200 -0.000 -60.000 -0.200 -60.000 -60.000 -0.200 -60.000 -60.000 0.200 -0.000 -60.000 0.200 0. 0. 500.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 500 mm stsstation04sector87 cave BOX silicon -0.000 -60.000 -0.200 -60.000 -60.000 -0.200 -60.000 -60.000 0.200 -0.000 -60.000 0.200 -0.000 -140.000 -0.200 -60.000 -140.000 -0.200 -60.000 -140.000 0.200 -0.000 -140.000 0.200 0. 0. 500.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 500 mm stsstation04sector88 cave BOX silicon -0.000 -140.000 -0.200 -60.000 -140.000 -0.200 -60.000 -140.000 0.200 -0.000 -140.000 0.200 -0.000 -260.000 -0.200 -60.000 -260.000 -0.200 -60.000 -260.000 0.200 -0.000 -260.000 0.200 0. 0. 500.000 1. 0. 0. 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