//********************************* WAFER z= 300 mm tutdet1 cave BOX silicon -400.000 -400.000 -0.200 400.000 -400.000 -0.200 400.000 -400.000 0.200 -400.000 -400.000 0.200 -400.000 400.000 -0.200 400.000 400.000 -0.200 400.000 400.000 0.200 -400.000 400.000 0.200 0. 0. 300.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //********************************* WAFER z= 300 mm tutdet2 cave BOX silicon -400.000 -400.000 -0.200 400.000 -400.000 -0.200 400.000 -400.000 0.200 -400.000 -400.000 0.200 -400.000 400.000 -0.200 400.000 400.000 -0.200 400.000 400.000 0.200 -400.000 400.000 0.200 0. 0. 302.000 1. 0. 0. 0. 1. 0. 0. 0. 1. //*********************************